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... Dieses Gerät erhöht den Wirkungsgrad durch die Abscheidung einer dünnen Al2O3-Schicht auf der Vorderseite des Wafers einer kristallinen Solarzelle durch thermische Atomlagenabscheidung (ALD) zur Bildung einer Passivierungsschicht. Spezifikation Hoher ...
... AlO+SiN-Dünnschichtabscheidung. - Atomlagenabscheidungsverfahren mit besserer Schichtgleichmäßigkeit. - Mehrschichtige Dünnschichten werden in der gleichen Prozessausrüstung oder im gleichen Ofenrohr abgeschieden, was die Prozessschritte ...
... Labortests und die industrielle Fertigung von Kleinteilen Hervorragend geeignet für komplex geformte 3D-Bauteile ALD-Abscheidung von Al2O3 und TiO2 Ferngesteuerte Plasmaquelle Gaspaneel mit 4 beheizten Vorstufenleitungen ...
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