Vakuum-Beschichtungsanlage / für Elektronik Sybilla

Übersicht
Reihe von Maschinen zur Aufbringung ultradünner Parylene-Schichten. Die Sybilla-Serie wurde für die Parylene-Abscheidung mittels CVD entwickelt und bietet kundenspezifische Lösungen für unterschiedliche Prozessanforderungen und Anwendungen.

Technologien und Systeme

• Parylene-Abscheidungstechnologien entwickelt in Partnerschaft mit Coat-X.
• Niedertemperatur-Abscheidesysteme zum Beschichten von elektronischen, medizinischen oder Halbleiter-Bauteilen: CX-30/300/600.
• Innovatives hybrides Mehrschicht-Abscheidesystem Parylene–ALD: CXC-20.
• Optionales ALD-Modul und PVD-Modul, verbunden über ein automatisiertes Transfersystem.

Funktionen und Anwendungsbereiche

• Ultradünne Schutzbeschichtungen für elektronische Komponenten, Medizinprodukte und Halbleiter-Substrate.
• Möglichkeiten für Mehrschichtabscheidungen und Co‑Depositions (Hybrid Parylene + ALD).
• Niedertemperaturbetrieb geeignet für temperatursensible Substrate.

Dokumentation
Technische Dokumentation und Produktbroschüre zum Download auf der Produktseite verfügbar (PDF-Datei).

Eigenschaften / technische Spezifikationen

• Serie: Sybilla.
• Genannte Modelle / Systeme: CX-30 / CX-300 / CX-600 (angegeben als CX-30/300/600); CXC-20 (hybrides Parylene - ALD System).
• Technologie: Parylene-Abscheidung durch CVD; hybride Parylene + ALD Lösung.
• Optionale Module: ALD-Modul, PVD-Modul, automatisierter Transfer zwischen Modulen.
• Betriebstemperatur: Niedertemperatur (geeignet für temperatursensible Substrate).
• Zielanwendungen: Elektronik, Medizin, Halbleiter.