CVD-Auftragsmaschine DünnschichtHochpräzisionOnline
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Eigenschaften
- Methode
- CVD
- Art der aufgebrachten Schicht
- Dünnschicht
- Weitere Eigenschaften
- Hochpräzision, Online, robotisiert
- Anwendung
- für die Mikroelektronik
Beschreibung
Präsentation
Oxid-Depositionssystem mit CBVD für die Bearbeitung von Wafern von 2 bis 18 Zoll. Entwickelt für die kontrollierte Ausbildung von Oxidschichten mit Echtzeit-Monitoring und vollständig automatisiertem Betrieb. Kompatibel mit Wafern bis Ø450 mm.
Baureihe
Baureihe Sybilla.
Hauptmerkmale
Dokumentation
Technische Dokumentation verfügbar (PDF-Datei spezifisch für die Oxides-Maschine).
Technische Daten / Spezifikationen
Oxid-Depositionssystem mit CBVD für die Bearbeitung von Wafern von 2 bis 18 Zoll. Entwickelt für die kontrollierte Ausbildung von Oxidschichten mit Echtzeit-Monitoring und vollständig automatisiertem Betrieb. Kompatibel mit Wafern bis Ø450 mm.
Baureihe
Baureihe Sybilla.
Hauptmerkmale
- CBVD-Technologie, entwickelt mit unserem Partner 3D Oxides
- Gleichmäßige Schichtdicke auf Wafern bis Ø450 mm
- Echtzeit-Monitoring zur Aufrechterhaltung der Wachstumsbedingungen
- Vollständig automatisierter Prozess
- Ausgelegt für Wafer von 2 bis 18 Zoll
- Bildgebung und Produktvisualisierung verfügbar (Fotos der Sybilla-Baureihe)
Dokumentation
Technische Dokumentation verfügbar (PDF-Datei spezifisch für die Oxides-Maschine).
Technische Daten / Spezifikationen
- Technologie: CBVD (Chemical Beam Vapor Deposition)
- Technischer Partner: 3D Oxides
- Kompatibler Waferbereich: 2 bis 18 Zoll
- Zielgleichmäßigkeit: bis Ø450 mm
- Steuerung: Echtzeit-Monitoring der Wachstumsparameter
- Automatisierung: vollständig automatisierter Prozess
- Baureihe: Sybilla
- Referenzjahr: 2026 (Entwicklung der Baureihe)
Kataloge
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- Auftragsmaschine für die Mikroelektronik
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- Online-Auftragsmaschine
- Hochpräzisions-Auftragsmaschine
- Kundenspezifischer Magnetron
- Runder Magnetron
- Vakuum-Beschichtungsanlage / für Elektronik
- Sputter-Beschichtungssystem
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.