AL Auftragsmaschine C30H ALD

Parylen

Ideal für Labortests und die industrielle Fertigung von Kleinteilen Hervorragend geeignet für komplex geformte 3D-Bauteile ALD-Abscheidung von Al2O3 und TiO2 Ferngesteuerte Plasmaquelle Gaspaneel mit 4 beheizten Vorstufenleitungen als Standard, weitere auf Anfrage. Gesamtabmessungen (L x B x H) - 2250 x 1160 x 1450mm Gewicht - 350 kg Kammergröße - ∅ 295 x 370 mm Größe des Werkzeugs - ∅ 260 x 320 mm Max. Werkzeugbelastung - 100kg Dimer-Belastbarkeit - 150g Pumpleistung - 40 m3/h Erforderliche Stromversorgung - 3 x 400V + N + PE - 50 Hz 3 x 25A - 15kW Thermalisierte Kammer - Temperaturbereich: 20 - 80°C Erforderliche Stromversorgung: 3 x 400V + PE - 50Hz 3x 14A - 9kW Ferngesteuerte Plasma Quelle - Frequenz: 1,7 - 3MHz Leistung: 3000W Vor Ort RF kapazitiv Plasmaquelle - - Standard verarbeitbar werkstoffe - Parylen: C, D, N, F-VT4, F-AF4 ALD: Al 2 O 3 , TiO Verfahren temperatur - Parylen: Raumtemperatur ALD: 60 - 80°C