Inspektionsmaschine für Wafer NovusEdge®

Industriefür die VerpackungsindustrieFehler

Das NovusEdge-System umfasst modulare Konfigurationen für eine schnelle, zuverlässige Prüfung der Kante, Kerbe und Rückseite des Wafers. Produktübersicht Das NovusEdge-System bietet eine hochempfindliche Inspektion der Kante und der Rückseite blanker, unbemusterter Wafer für aktuelle und fortgeschrittene Knotenpunkte. Mehrere Module können auf der gleichen Automatisierungsplattform konfiguriert werden, um den Durchsatz zu erhöhen und gleichzeitig eine kleine Stellfläche für verbesserte Betriebskosten beizubehalten. Die kantenschonende Handhabungslösung sowohl für die Automatisierungsplattform als auch für die Prüfmodule sorgt für die gewünschte Sauberkeit, die für die Waferherstellung erforderlich ist. Optional kann die Konfiguration um eine hochempfindliche Kerbprüfung erweitert werden. Erkannte Defekte werden zur Laufzeit automatisch klassifiziert und in Kategorien eingeteilt, um die manuelle Überprüfung durch den Bediener zu reduzieren. Das System ist als Mehrzweck-Inspektions- und Sortiersystem für die End-of-Line-Qualitätsprüfung von unstrukturierten 300-mm-Wafern konzipiert. Das System ermöglicht die Identifizierung, Inspektion und Sortierung der Wafer nach frei definierbaren Rezepten. Anwendungen - In-Prozess-Inspektion von unstrukturierten Wafern in der Wafer-Produktionsstätte. - Eingangsprüfung von unstrukturierten Wafern bei Outsourcing-Anbietern von Unterbaugruppen und Tests, Herstellern von integrierten Bauelementen und Gießereien. - Qualifizierung und Überwachung von Prozesswerkzeugen in Verbindung mit Testwafern. Spezifikationen - Submikron-Kantenempfindlichkeit - Rückseitenempfindlichkeit bis in den Nanometerbereich - Vollflächige Kerbprüfung - Schleier - Sortierfähigkeit - Flexible Werkzeugkonfiguration - Automatische Fehlerklassifizierung mit vom Kunden definierbaren Fehlerklassen