Temperaturmesssystem SensArray®

automatischWerkzeug

Das SensArray® Automation-Paket für das In-situ-Prozessmanagement ermöglicht eine schnelle automatisierte Erfassung von Temperaturmessungen in der Prozesswerkzeugkammer und bietet gleichzeitig halbautomatische Funktionen zur Unterstützung von Fab-Startups. Das SensArray-Automatisierungspaket umfasst die AS1000-Automatisierungsbasisstation, die mit allen drahtlosen 300-mm-SensArray-Produkten kompatibel ist, den OHT-kompatiblen FOUP, einen Systemautomatisierungscontroller und PC-Softwarekomponenten für den Bürobereich. SensArray FOUPs können zwei separate SensArray-Produkte unterstützen, um einen flexiblen Einsatz in der Fabrik zu ermöglichen, und können auf die gleiche Weise verarbeitet werden wie alle FOUPs in der Produktion, mit direkter Datenportierung in SPC-Charts. SensArray Automation bietet Produktivitätssteigerungen, die sich in einer verbesserten Verfügbarkeit von Prozesswerkzeugen, einer effizienteren Nutzung von Engineering-Ressourcen und einer zentralisierten Datenspeicherung in der MES-Datenbank der Fabrik niederschlagen. Anwendungen Prozessentwicklung, Prozessqualifizierung, Prozesswerkzeugüberwachung, Prozesswerkzeugqualifizierung, Kammerabgleich, Prozesswerkzeugabgleich