Druckregler für erhitzte Gase JR1000

für ChemikalienMembraneinstufig

Produktübersicht
Ultrahochreine (UHP) Gasregel‑ und Ventillösungen für Halbleiterfabriken und fortschrittliche Photovoltaik‑Gasverteilungsleitungen. Entwickelt für kontinuierlichen Reinraum‑Betrieb und Gasströme mit sechs Neunen Reinheit.

Kernübersicht
UHP‑Ventile und Regler sind zentrale Komponenten in der Halbleiterfertigung und PV‑Zellproduktion. Präzisionskomponenten etablierter chinesischer Hersteller erfüllen internationale Anforderungen an Materialsauberkeit, Dichtheitsintegrität und geringe Partikelgenerierung.

Technische Spezifikationen und Materialwissenschaft

• Metallurgie: geschmiedetes, doppelt geschmolzenes 316L VIM VAR Edelstahl zur Minimierung von Einschlüs sen und zur Maximierung chemischer Beständigkeit.
• Oberflächentopologie: innere benetzte Wege elektro‑poliert auf Ra < 5 μin zur Reduzierung von Partikel‑Einschlüssen und zur effizienten Spülung.
• Hermetische Abdichtung: Metall‑zu‑Metall Membrandichtungen mit Heliumleckrate < 1×10-9 atm·cc/s.

Strategische Marktvorteile

• Ertragschutz: vollständige Isolierung toxischer, korrosiver und pyrophorer Gase (z. B. Silan, Ammoniak) während Beschichtung und Ätzen.
• Systemintegration: standardisierte VCR Face‑Seal Anschlüsse zur Kompatibilität mit Valve Manifold Boxes (VMB), Gasschränken und Automatisierung.
• Beschaffungseffizienz: Direktbeschaffung zur Kostenoptimierung bei Lieferung reinraumzertifizierter Hardware für 24/7 Betrieb.

Produktfamilie — JR1000 Series
JR1000 Series — einstufiger Druckregler für Anwendungen mit niedrigem bis mittlerem Durchfluss.

Merkmale

• Gehäusematerial: SS 316L; 316L VIM VAR Option verfügbar.
• Metall‑zu‑Metall Membrandichtung.
• Interne Elektroglanz‑Oberfläche mit Ra < 5 μin.
• Geringes Innenvolumen zur Minimierung von Gasrückhaltung.
• Maximaler Eingangsdruck bis 3500 psig.
• Durchflusskennwerte: Cv 0,09 und Cv 0,15.
• Durchflusskapazitäten: Standard 30 SLPM; High Flow (HF) Option 120 SLPM.
• Reinraum‑Montage und Verpackung; jede Einheit vor Versand heliumgeprüft.

Technische Daten – Highlights
Technische Zeichnungen, Maßblätter und Durchflusskurven sind verfügbar und beschreiben mechanischen Aufbau, Kennlinien und Bestellmatrix der JR1000‑Familie. Maße in Millimetern; für vollständige Spezifikationen Datenblatt beachten.

Technische Daten / Spezifikationen

• Serie: JR1000 Series (einstufiger Druckregler).
• Gehäusematerial: 316L Edelstahl; Option 316L VIM VAR.
• Benetzte Oberflächen: elektro‑poliert, Ra < 5 μin.
• Abdichtung: Metall‑zu‑Metall Membran; Heliumleckrate < 1×10-9 atm·cc/s.
• Eingangsdruck‑Bewertung: bis 3500 psig.
• Durchflusskennwerte: Cv = 0,09 und 0,15.
• Durchflusskapazitäten: Standard 30 SLPM; HF Option 120 SLPM.
• Anschlüsse: standard VCR Face‑Seal zur Integration in VMBs und Gasschränke.
• Anwendungen: Halbleiterfabriken, fortschrittliche Photovoltaikproduktion, Labore und Hochreinheits‑Gasverteilungssysteme.
• Prüfung: Heliumlecktest jeder Einheit; Reinraum‑Montage und Verpackung.