EinführungDie DPR1-Serie ist ein kompakter, zweistufiger Hochreinheits-Flaschen-Druckregler für geringe Durchflüsse von toxischen, brennbaren und pyrophoren Gasen in der Halbleiter- und Feinmechanikindustrie. Gebundene, gewellte Metalldiaphragmen und eine Metall‑auf‑Metall‑Dichtung zwischen Membran und Gehäuse erhalten die Gasreinheit und minimieren Diffusion.
Eigenschaften- Maximaler Eingangsdruck: 3000 psig / 207 bar
- Ausgangsdruckbereiche: 0–25 psig, 0–50 psig, 0–100 psig, 0–150 psig (0–1,7 bar, 0–3,4 bar, 0–6,9 bar, 0–10,3 bar)
- Konstruktionsprüfdruck: 150 % des maximalen Nenndrucks
- Leckage: intern — blasenfest; extern — ausgelegt auf < 2 x 10-8 atm cc/sec He
- Betriebstemperatur: -40°F bis 140°F / -40°C bis 60°C
- Durchflusskennwert: Cv = 0,05
- Max. Bedienmoment: 30 in‑lb / 3,4 N·m
- Abklingverhalten am Eingang: Änderung 0,06 / 100 psig (0,004 / 6,9 bar)
Vorteile- Gebundene, gewellte Membranen für höhere Empfindlichkeit und Genauigkeit
- Metall‑auf‑Metall‑Dichtung Membran/Gehäuse zur Minimierung von Diffusion
- Positive Dichtungsführung mit eingefassten Haubenauslässen zur Erhöhung der Dichtheit
- Membran‑zu‑Ventilverbindung verbessert die Sitzdichtungsintegrität
- Stabiler Ausgang bei schwankendem Eingangsdruck (geringe Abklingcharakteristik)
Weitere Optionen- Optionale Ausgangsbereiche: 0–25 psi, 0–50 psi, 0–100 psi, 0–150 psi
Technische Daten- Modell / Serie: DPR1 series
- Maximaler Eingangsdruck: 3000 psig / 207 bar
- Ausgangsdruckbereiche: 0–25 psig (0–1,7 bar), 0–50 psig (0–3,4 bar), 0–100 psig (0–6,9 bar), 0–150 psig (0–10,3 bar)
- Konstruktionsprüfdruck: 150 % des maximalen Nenndrucks
- Leckage: intern — blasenfest; extern — ausgelegt auf < 2 x 10-8 atm cc/sec He
- Betriebstemperaturbereich: -40°F bis 140°F / -40°C bis 60°C
- Durchflusskennwert (Cv): 0,05
- Max. Bedienmoment: 30 in‑lb / 3,4 N·m
- Abklingverhalten am Eingang: Änderung 0,06 / 100 psig (0,004 / 6,9 bar)