Gasdruckregler JR1000

Membraneinstufigaus Edelstahl 316L

Gas-Druckminderventil JR1000 Serie (einstufig) 316L VIM VAR Edelstahl — elektropoliert, Metall‑auf‑Metall‑Membran

Produktübersicht und Zweck
Das JR1000‑Regelventil von Jewellok ist ein einstufiger Druckminderer, der hohe Flaschendrücke auf kontrollierte Betriebswerte reduziert. Es ist ausgelegt für aggressive, toxische und korrosive Spezialgase in der Halbleiter- und Photovoltaikfertigung (z. B. HCl, Cl2, NH3) und für Anwendungen mit ultrahoher Reinheit, die hermetische Dichtheit, geringes inneres Volumen und chemische Beständigkeit erfordern.

Kerntechnische Merkmale

• VIM VAR‑Legierung: Gesenkt und doppelt eingeschmolzenes SS 316L VAR zur Minimierung von Einschlüssen und zur Erhöhung der Beständigkeit gegen chemische Korrosion und Wasserstoffversprödung.
• Elektropolierte benetzte Wege: Innenflächen elektropoliert, typ. <5 μin Ra, zur Verringerung von Feuchtigkeitsansammlungen und Ausgasung.
• Gebundenes Metallmembran: Mechanisch mit dem Sitz verbundenes Metallmembran für positiven Verschluss bei Verschmutzung durch Salze oder Partikel, verhindert Überdruck stromabwärts.
• Hermetische Metall‑auf‑Metall‑Dichtungen: Gehäusedichtungen erreichen Helium‑Leckraten < 1×10-9 atm·cc/s zum Schutz des Prozessstroms vor Feuchtigkeits‑ und Sauerstoffeintrag.

Montage‑ und Betriebsanleitungen
Entpacken und handhaben Sie das Reglergerät in einer zertifizierten Reinraumumgebung. Befestigen Sie es mit integrierten VCR‑Flanschverbindungen und neuen Metalldichtungen. Führen Sie vor Einführung korrosiver oder toxischer Medien einen vollständigen Stickstoff‑Spülzyklus durch und überprüfen Sie die Dichtheit mit geeignetem Prüfgas. Legen Sie einen planmäßigen Inspektions‑ und Wartungsplan fest, um Druckstabilität und Systemverfügbarkeit zu gewährleisten.

JR1000 Serie
Einstufiger Regler für Anwendungen mit niedrigem bis mittlerem Durchfluss, die chemische Verträglichkeit und Reinigungsfähigkeit erfordern.

Eigenschaften

• Gehäusematerial: SS 316L oder SS 316L VAR (VIM VAR, doppelt eingeschmolzen)
• Metall‑auf‑Metall‑gebundene Membrandichtung
• Elektropolierte benetzte Oberflächen, typ. Ra < 5 μin
• Minimales Innenvolumen für schnelle Spülung
• Max. Eingangsdruck: bis zu 3500 psig
• Durchflussbeiwert (Cv): 0,09 und 0,15
• Max. Durchfluss (std): 30 SLPM; Hochdurchfluss (HF): 120 SLPM
• Hochreinmontage und Reinraumverpackung
• Einzelne Helium‑Dichtheitsprüfung vor Versand
• Integrierte VCR‑Flanschverbindungen (neue Metalldichtungen verwenden)

Technische Daten
Hermetische Metall‑auf‑Metall‑Dichtungen mit Heliumleckraten < 1×10-9 atm·cc/s; elektropolierte benetzte Flächen <5 μin Ra; Cv‑Optionen und veröffentlichte Durchflusskurven zur Auslegung. Siehe bereitgestellte Maße und Durchflussdiagramme für Installation und Auslegung.

Technische Spezifikationen

• Modell / Serie: JR1000 Series (einstufig)
• Gehäusematerial: SS 316L oder SS 316L VAR (VIM VAR, doppelt eingeschmolzen)
• Membrandichtung: gebundenes Metall‑auf‑Metall‑Design
• Oberflächenbeschaffenheit (benetzte Wege): elektropoliert, typ. Ra < 5 μin
• Hermetische Dichtheitsintegrität: < 1×10-9 atm·cc/s (Helium)
• Max. Eingangsdruck: bis zu 3500 psig
• Durchflussbeiwert (Cv): 0,09 und 0,15
• Max. Durchflussrate: Standard 30 SLPM; Hochdurchfluss 120 SLPM
• Innenvolumen: minimiert für schnelle Spülung
• Vorgesehene Medien: aggressive, toxische und korrosive Spezialgase (z. B. HCl, Cl2, NH3)
• Prüfungen: Helium‑Dichtheitsprüfung; Montage in Hochreinheit und Reinraumverpackung
• Anschlüsse: integrierte VCR‑Flanschverbindungen (neue Metalldichtungen verwenden)