Multisensor-Charakterisierungsgerät Vertex

Plasmazur Verteilung ionischer Energie

Der Vertex-Multisensor misst die Ionenenergieverteilung als Funktion des Seitenverhältnisses, das von mehreren Stellen aus auf eine Oberfläche in einem Plasmareaktor trifft, um die Gleichmäßigkeit der Ionenwechselwirkungen auf einem Substrat zu analysieren. Die Gleichmäßigkeit von Ionenenergie, Ionenfluss und Vorspannung wird ebenfalls an mehreren Stellen gemessen. Der Winkel der Ionen, die auf den Boden eines Merkmals treffen, kann aus der Ionenenergieverteilung in Abhängigkeit vom Seitenverhältnis bestimmt werden, das über ein Substrat gemessen werden kann, um die Gleichmäßigkeit und damit die Qualität des Ätzprofils von einer Seite des Substrats zur anderen zu überwachen. Der Vertex Multi Sensor misst die Gleichmäßigkeit der Ionenenergieverteilung in Abhängigkeit vom Seitenverhältnis. Ionenenergiegleichförmigkeit, Ionenflussgleichförmigkeit, negative Ionengleichförmigkeit und Vorspannung an einer Oberfläche innerhalb eines Plasmas sind vorgesehen. Der Vertex Multi Sensor wird zunehmend in vielen Anwendungen in Industrie und Forschung eingesetzt, bei denen das Merkmalsprofil von Interesse ist, wie z.B. Plasmaätzen für größere Substrate, Ionenstrahlen und Plasmasputtern. Der Vertex Multi Sensor hilft Anwendern, Modelle zu bestätigen, neue Prozesse und Experimente zu entwickeln, die Plasma verwenden und einen einheitlichen Prozess, Plasmaschneidwerkzeugdesign, Plasmabeschreibung und Forschung erfordern. Der Vertex Multisensor ist in einer 19"-Elektronikeinheit, einer Vakuumdurchführung und einem Sensorhalter untergebracht, der sich an beliebiger Stelle innerhalb einer Plasma- oder Strahlkammer befindet. Die Position kann sogar eine HF- oder DC-betriebene Elektrode sein und kann einen austauschbaren Tastsensor verwenden. Die Elektronikeinheit wird an einen Laptop oder PC angeschlossen und verwendet die intelligente Software-Suite Vertex.