Analysator mit Einzelfühler Semion

für PlasmareaktorProzessBremsfeld

Der Semion Einzelsensor ist ein Retarding Field Energy Analyser (RFEA). Er wird an beliebiger Stelle in einem Plasmareaktor platziert und misst die Energie von Ionen, die auf eine Oberfläche treffen, mit einem einzigen Messsensor. Dieser Retard Field Analyser (RFA) ist eine grundlegende Plasmadiagnostik zur Messung der Ionenenergieverteilungsfunktion und misst auch den Ionenfluss, negative Ionen, Temperatur und Biasspannung (Vdc). Das Semion-System ermöglicht die Prozessüberwachung vor Ort, die Bestätigung von Modellen, die Entwicklung neuer Prozesse und Forschungsanwendungen in Echtzeit am Substratstandort. Der Semion, manchmal auch als verzögernder Potentialanalysator bezeichnet, misst die Ionenenergie und erzeugt die Ionenenergieverteilungsfunktion (IEDF), Ionenfluss, negative Ionen, Temperatur und Vdc an der Substratposition innerhalb eines Plasmareaktors. Der Semion Retarding Field Energy Analyzer (RFEA) wird in vielen Bereichen der Industrie und Forschung eingesetzt, wie z.B. Plasmaätzen, Beschichtungen, Plasmasputtern, PECVD und Ionenstrahlen. Der Semion Single Sensor ist ein wichtiges Plasmadiagnoseinstrument, das Modelle bestätigen, die Entwicklung neuer Prozesse unterstützen und Experimente mit Plasma, Plasmaschneidwerkzeugdesign und Plasmaforschung ermöglichen kann. Der Semion Single Sensor Retarding Feldenergieanalysator besteht aus einem austauschbaren Tastsensorsensor, der in einem Sensorhalter montiert ist und mit einer Vakuumdurchführung verbunden ist, die von einer 19"-Elektronikeinheit im Rack betrieben wird.