Charakterisierungsgerät mit Einzelfühler Vertex

Plasmazur Verteilung ionischer Energie

Der Vertex Single Sensor misst die Ionenenergieverteilung in Abhängigkeit vom Seitenverhältnis, das auf eine Oberfläche in einem Plasmareaktor trifft. Dieses einzigartige Plasma-Charakterisierungsinstrument kann auch die Ionenenergie, den Ionenfluss und die Vorspannung messen. Der Winkel der Ionen, die auf den Boden eines Merkmals treffen, kann aus der Ionenenergieverteilung in Abhängigkeit vom Seitenverhältnis bestimmt werden, wodurch der Benutzer die Qualität des Ätzprofils an einer bestimmten Stelle im Plasmareaktor überwachen kann. Der Vertex Single Sensor misst die Ionenenergieverteilung in Abhängigkeit von Seitenverhältnis, Ionenenergie, Ionenfluss, negativen Ionen und Vdc an einer Oberfläche in einem Plasma. Der Vertex Einzelsensor wird zunehmend in vielen Anwendungen in Industrie und Forschung eingesetzt, wie z.B. Plasmaätzen, Ionenstrahlen und Plasmasputtern zur Plasmacharakterisierung und Plasmainteraktionsanalyse. Der Vertex Einzelsensor spart dem Anwender wertvolle Zeit bei der Bestätigung von Modellen, der Entwicklung neuer Verfahren und bei Experimenten mit Plasma, Plasma-Tooldesign und Plasmaforschung. Der Vertex Einzelsensor ist in einer 19"-Elektronikeinheit, einer Vakuumdurchführung und einem Sensorhalter untergebracht, der sich an beliebiger Stelle innerhalb einer Plasma- oder Strahlkammer befindet. Die Position kann sogar eine HF- oder DC-betriebene Elektrode sein und kann einen austauschbaren Tastsensor verwenden. Die Elektronikeinheit wird an einen Laptop oder PC angeschlossen und verwendet die intelligente Software-Suite Vertex. Der Vertex Einzelsensor verfügt über eine Reihe von Halterungsoptionen von 50 mm bis 450 mm und ist abhängig von der Anwendung des Benutzers. Der Benutzer kann einen 50 mm Sensor auswählen und den Sensor physisch bewegen, um an verschiedenen Stellen der Kammer zu messen.