Sputter-Auftragsmaschine / vertikal / in Reihe geschaltet OPT-S 1800

mit Magnetronfür Automobilanwendungen

Produktübersicht
OPT-S 1800 ist eine Magnetron-Sputter-Beschichtungsanlage für optische Schichten mit einer effektiven Beschichtungsfläche von Ø940 × H1600 mm und einer Kammer von Ø1200 × H2180 mm. Sie verwendet Ionenquellen-Ätzung und ist mit 8 Sputterquellen ausgestattet; flache oder zylindrische Quellenkonfigurationen sind verfügbar. Das System unterstützt vertikale planetarische zylindrische Werkstückträger und eignet sich für die Abscheidung mehrschichtiger optischer Filme.

Anwendungen

• Optische Linsen
• Automobile Verkleidungen
• Displayschirme
• LiDAR
• Head-up-Displays (HUD)

Aufgeführte Schichttypen

• Abschnittsfilter (Cut-off)
• Bandpassfilter
• RGB-Filter
• AR (Antireflex)
• Harte AR
• IR-AR
• HR (Hohe Reflexion)
• AS/AF (Anti-Schmutz / Anti-Fingerprint)
• ITO-Beschichtungen

Hauptvorteile

• 8 Sputterquellen (flache oder zylindrische Optionen) für flexible Abscheidungskonfigurationen
• Online-Optiküberwachungssystem (Echtzeit-Spektralüberwachung und Endpunktkontrolle) für Mehrschichtfilme
• Vertikale planetarische Werkstückbewegung (Umlauf und Rotation) zur Unterstützung einer gleichmäßigen Schichtdickenverteilung
• Dichte, haftfähige optische Filme mit geringer Absorption und Streuung durch den Sputterprozess
• Touchscreen- und PLC-Steuerung mit manuellem / halbautomatischem / vollautomatischem Betrieb
• Ausgestattet mit 8 Molekularpumpen für Vakuumleistung und Stabilität

Produktparameter (Tabellarische Darstellung)
Modell: OPT-S 1800
Beschichtungstechnologie: Magnetron-Sputtering
Ätztechnologie: Ionenquellen-Ätzung
Substratmaterialien: Glas, kristalline Materialien, Polymere, Keramiken und Metalle
Ausrüstungsstruktur: Integriertes vertikales System; seitlich öffnende Tür; 2 Sichtfenster
Werkstückträgerbewegung: Vertikales planetarisches zylindrisches Werkstückträgersystem
Arbeitstemperatur: Einstellbar von Raumtemperatur bis 300°C
Endvakuum: 8 × 10⁻⁵ Pa (Leerlauf, Reinraumzustand)
Steuermodi: Manuell / halbautomatisch / vollautomatisch; Touchscreen + PLC
Prozessgase: Argon, Stickstoff, Sauerstoff und Acetylen
Optische Überwachung: Online-Optiküberwachungssystem (OMS)
Bias-Stromversorgungen: 1
Abmessungen des Geräts (L × B × H): L4.0 × W2.1 × H3.3 m

Spezifikationen / Technische Merkmale

• Effektive Beschichtungsfläche: Ø940 × H1600 mm
• Kammergröße: Ø1200 × H2180 mm
• Sputterquellen: 8 (flache oder zylindrische Optionen)
• Spezifikation des Werkstückträgers: Ø170 × 12 Schächte (anpassbar nach Anforderungen)
• Endvakuum: 8 × 10⁻⁵ Pa (Leerlauf, Reinraumzustand)
• Arbeitstemperaturbereich: Raumtemperatur bis 300°C
• Unterstützte Prozessgase: Argon, Stickstoff, Sauerstoff, Acetylen
• Steuerung: Touchscreen + PLC; manuell / halbautomatisch / vollautomatisch
• Optische Überwachung: Online-OMS für Echtzeit-Spektralüberwachung und Endpunktkontrolle
• Geräte-Fußabdruck: L4.0 × W2.1 × H3.3 m
• Struktur: Integriertes vertikales System mit seitlich öffnender Tür und 2 Sichtfenstern
• Typische Anwendungen: optische Linsen, automobile Verkleidungen, Displays, LiDAR, HUD