Sputter-Auftragsmaschine / mit Magnetron OPT-S 1700

vertikal / in Reihe geschaltetfür Automobilanwendungen

Produktübersicht
OPT-S 1700 ist eine Magnetron-Sputter-Anlage für optische Beschichtungen mit einer wirksamen Beschichtungsfläche Φ940 × H1200 mm und einer Kammer Φ1200 × H1900 mm. Sie verwendet Ionenquellen-Ätzen und 8 Sputterquellen, mit wählbaren planaren oder zylindrischen Quellen. Die OPT-S-Serie deckt optische Linsen, Fahrzeugplatten, Displays, LiDAR und Head-up-Displays ab. Unterstützte Schichttypen: Cut-off-, Bandpass- und RGB-Filter, AR, hard AR, IR-AR, HR, AS/AF und ITO-Beschichtungen.

Hauptvorteile

• 8 Sputterquellen mit wählbaren planaren oder zylindrischen Quellen.
• Online-optisches Überwachungssystem für spektrale Echtzeitüberwachung und Steuerung des Beschichtungsendpunkts.
• Vertikale planetarische Werkstückbewegung (Revolution und Rotation) zur Unterstützung einer gleichmäßigen Schichtdickenverteilung bei mehrschichtigen optischen Beschichtungen.
• Der Sputterprozess liefert dichte, haftfähige optische Filme mit geringen Absorptions- und Streuverlusten.
• Touchscreen- und PLC-Steuerung für manuelle / halbautomatische / vollautomatische Bedienung.

Merkmale

• Wirksame Beschichtungsfläche: Φ940 × H1200 mm.
• Kammergröße: Φ1200 × H1900 mm.
• Werkstückträger: Φ170 × 12 Wellen (Werkstückträger-Spezifikation, anpassbar).
• 6 Molekularpumpen für das Vakuumsystem.
• Unterstützt mehrere Schichttypen (Cut-off, Bandpass, RGB-Filter, AR, hard AR, IR-AR, HR, AS/AF, ITO).

Produktparameter
Modell: OPT-S 1700
Beschichtungstechnologie: Magnetron-Sputtering
Ätztechnologie: Ionenquellen-Ätzen
Substratmaterialien: Glas, kristalline Materialien, Polymere, Keramiken und Metalle
Ausrüstungsaufbau: Integriertes vertikales System; seitlich öffnende Tür; 2 Sichtfenster
Werkstückträgerbewegung: Vertikales planetarisches zylindrisches Werkstückträgersystem
Werkstückträger-Spezifikation: Φ170 × 12 Wellen (anpassbar)
Arbeitstemperatur: einstellbar von Raumtemperatur bis 300°C
Endvakuum: 8 × 10⁻⁵ Pa (ohne Last, Reinraumbedingung)
Steuermodi: Manuell / halbautomatisch / vollautomatisch; Touchscreen + PLC
Prozessgase: Argon, Stickstoff, Sauerstoff und Acetylen
Optische Überwachung: Online-optisches Überwachungssystem (OMS)
Molekularpumpen: 6
Abmessungen (L × B × H): L4.0 × W2.1 × H3.1 m

Technische Spezifikationen

• Modell: OPT-S 1700
• Beschichtung: Magnetron-Sputtering — unterstützt mehrschichtige optische Filter und AR/HR/ITO-Filme
• Ätzen: Ionenquellen-Ätzen
• Wirksame Beschichtungsfläche: Φ940 × H1200 mm
• Kammer: Φ1200 × H1900 mm
• Werkstückträger: Vertikales planetarisches zylindrisches System; Φ170 × 12 Wellen (konfigurierbar)
• Vakuumleistung: 8 × 10⁻⁵ Pa (ohne Last, Reinraum)
• Temperaturbereich: Umgebung bis 300°C
• Steuerung: Touchscreen + PLC; Modi manuell / halbautomatisch / vollautomatisch
• Überwachung: Online-optische Überwachung für spektrale/Endpunkt-Kontrolle
• Pumpen: 6 Molekularpumpen
• Gesamtmaße: L4.0 × W2.1 × H3.1 m