Sputter-Auftragsmaschine / mit Magnetron OPT-S 800

vertikal / in Reihe geschaltetfür Automobilanwendungen

Übersicht
Die OPT-S 800 ist ein Magnetron-Sputter-Beschichtungssystem für optische Schichten mit einer effektiven Beschichtungsfläche von Φ650 × H450 mm und einer Kammergröße von Φ1150 × H980 mm. Das System kombiniert Ionenquellenätzung und vier Sputterquellen, wahlweise planar oder zylindrisch. Die OPT-S-Serie ist für gleichmäßige Mehrschichtbeschichtungen auf Linsen, Fahrzeugblechen, Displays, LiDAR-Modulen und Head-up-Displays (HUD) ausgelegt.

Anwendungen

• Optische Linsen
• Automobilbleche (Außen/Innen)
• Display- und Touchscreen-Panels
• LiDAR-Optiken und Sensorik
• Head-up-Displays (HUD)

Aufgeführte Schichttypen

• Cut-off-Filter
• Bandpass- und RGB-Filter
• AR (antireflektierend)
• Hard AR
• IR-AR
• HR (hochreflektierend)
• AS/AF (anti-fingerprint / anti-smudge)
• ITO-Beschichtungen (transparent leitfähig)

Hauptvorteile

• Vier Sputterquellen mit planar- oder zylindrischen Optionen für flexible Prozesskonfigurationen
• Online-Optiküberwachung für spektrales Echtzeit-Feedback und Endpunktkontrolle bei Mehrschichtdepositionen
• Planetare Bewegung (Revolution und Rotation) des Werkstücks zur Sicherstellung einer gleichmäßigen Schichtdickenverteilung
• Der Sputterprozess erzeugt dichte, haftfeste optische Filme mit geringen Absorptions- und Streuverlusten

Merkmale

• Effektive Beschichtungsfläche: Φ650 × H450 mm
• Kammergröße: Φ1150 × H980 mm
• Werkstückträger: Φ135 × 10 Wellen (einstellbar); vertikaler planetarer zylindrischer Träger
• Touchscreen-Bedienung und SPS-Steuerung
• Zwei Molekularpumpen (Vakuumsystemkomponenten)

Produktparameter (Tabelle)
Modell: OPT-S 800
Beschichtungstechnologie: Magnetron-Sputtering
Ätztechnologie: Ionenquellenätzung
Substratmaterialien: Glas, kristalline Materialien, Polymere, Keramik, Metalle
Ausrüstungsstruktur: Integriertes Vertikalsystem; seitlich öffnende Tür; 2 Sichtfenster
Kammergröße (Durchmesser × Höhe): Φ1150 × H980 mm
Effektive Beschichtungsfläche (Durchmesser × Höhe): Φ650 × H450 mm
Werkstückträger-Spezifikation: Φ135 × 10 Wellen; einstellbar
Sputterquellen: 4; planar / zylindrisch Optionen
Arbeitstemperatur: Raumtemperatur bis 300°C (einstellbar)
Endvakuum: 8 × 10⁻⁵ Pa (Leerlauf, Reinraum-Bedingung)
Prozessgase: Argon, Stickstoff, Sauerstoff, Acetylen
Abmessungen (L × B × H): L3.8 × W1.8 × H2.3 m

Technische Spezifikationen

• Modell: OPT-S 800
• Beschichtungsverfahren: Magnetron-Sputtering
• Ätzverfahren: Ionenquellenätzung
• Kammer: Φ1150 × H980 mm
• Effektive Beschichtungsfläche: Φ650 × H450 mm
• Werkstückträger: Φ135 × 10 Wellen, vertikaler Planetenträger
• Sputterquellen: 4 (planar oder zylindrisch)
• Temperaturbereich: RT bis 300°C
• Endvakuum: 8 × 10⁻⁵ Pa (Leerlauf, Reinraum)
• Prozessgase: Ar, N2, O2, C2H2
• Abmessungen: L3.8 × W1.8 × H2.3 m