Sputter-Auftragsmaschine / mit Magnetron OPT-S 1500

vertikal / in Reihe geschaltetfür Automobilanwendungen

Übersicht
OPT-S 1500 ist eine optische Beschichtungsanlage im Magnetron-Sputter-Verfahren mit einem effektiven Beschichtungsbereich von Φ940 × H1000 mm und einer Kammergröße Φ1200 × H1650 mm. Sie kombiniert Ionenquellen-Ätzen und 8 Sputter-Quellen (planare oder zylindrische Optionen) und ist für hochuniforme mehrlagige optische Schichten für Linsen, Fahrzeugverkleidungen, Displays, LiDAR und Head-up-Displays ausgelegt. Unterstützte Schichttypen umfassen Cut-off, Bandpass, RGB-Filter, AR, hard AR, IR-AR, HR, AS/AF und ITO-Beschichtungen.

Hauptvorteile

• 8 Sputter-Quellen mit planaren oder zylindrischen Konfigurationen je nach Prozessanforderung
• Online-Optiküberwachung für spektrales Monitoring in Echtzeit und Kontrolle des Endpunkts der Abscheidung
• Vertikales planetarisches Werkstückbewegungssystem (Revolution und Rotation) für gleichmäßige Schichtdickenverteilung bei optischen Mehrschichten
• Das Sputterverfahren liefert dichte, haftfähige Schichten mit geringer Absorptions- und Streuverlusten
• Touchscreen-Bedienung und SPS/PLC-Steuerung für prozessgesteuerte Abläufe
• Vakuummanagement über mehrere Molekularpumpen (5 Molekularpumpen)

Anwendungen und Filmtypen

• Anwendungen: optische Linsen, Fahrzeugverkleidungen, Anzeigevorrichtungen, LiDAR-Module, Head-up-Displays
• Filmtypen: Cut-off-Filter, Bandpass-Filter, RGB-Filter, AR (antireflex), hard AR, IR-AR, HR (hohe Reflexion), AS/AF (anti-smudge/anti-fingerprint) und ITO-Beschichtungen

Ausstattung & Merkmale

• Integriertes vertikales System mit seitlich öffnender Tür und zwei Sichtfenstern zur Prozessbeobachtung
• Vertikales planetarisches zylindrisches Werkstückträger-System mit Revolution und Rotation
• Werkstückträger-Spezifikation: Φ170 × 12 Wellen (anpassbar nach Anforderungen)
• Kammergröße (Durchmesser × Höhe): Φ1200 × H1650 mm
• Effektiver Beschichtungsbereich (Durchmesser × Höhe): Φ940 × H1000 mm
• Arbeitstemperatur: einstellbar von Raumtemperatur bis 300°C
• Endvakuum: ~8 × 10⁻5 Pa (Leerlauf, Reinraum-Bedingung)
• Anlagenabmessungen (L × B × H): 4.0 × 2.1 × 2.8 m

Technische Daten

• Modell: OPT-S 1500
• Beschichtungstechnologie: Magnetron-Sputtering
• Ätztechnik: Ionenquellen-Ätzen
• Substratmaterialien: Glas, kristalline Materialien, Polymere, Keramiken und Metalle
• Anlagenstruktur: Integriertes vertikales System; seitlich öffnende Tür; 2 Sichtfenster
• Kammergröße (Durchmesser × Höhe): Φ1200 × H1650 mm
• Effektiver Beschichtungsbereich (Durchmesser × Höhe): Φ940 × H1000 mm
• Werkstückträger-Spezifikation: Φ170 × 12 Wellen; anpassbar nach Anforderungen
• Werkstückträgerbewegung: vertikales planetarisches zylindrisches Trägersystem (Revolution und Rotation)
• Sputter-Quellen: 8 (planare / zylindrische Optionen)
• Arbeitstemperatur: Raumtemperatur bis 300°C
• Endvakuum: ~8 × 10⁻5 Pa (Leerlauf, Reinraum-Bedingung)
• Anlagenabmessungen (L × B × H): 4.0 × 2.1 × 2.8 m
• Steuerung: Touchscreen-Bedienfeld und SPS/PLC-Steuerung
• Vakuumsystem: mehrere Molekularpumpen (5 Molekularpumpen)