Rohrförmiger Ofen TubeStarGlühPyrolyseelektrisch
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Eigenschaften
- Konfigurierung
- rohrförmig
- Funktion
- Glüh, Pyrolyse
- Wärmequelle
- elektrisch
- Atmosphäre
- Vakuum, unter Schutzatmosphäre, Edelgas, Stickstoff, Wasserstoff
- Weitere Eigenschaften
- automatisch, kompakt, programmierbar, horizontal, maßgefertigt, Labor, Industrie, für die Elektronik, für Leiterplatten
- Maximaltemperatur
Min: 0 °C
(32 °F)Max: 1.200 °C
(2.192 °F)
Beschreibung
Die TubeStar-Ofenplattform ist ein kompakter Batch-Rohrofen. Diese Plattform ist für Diffusions-, Oxidations- und Abscheidungsanwendungen bestimmt und wurde so konzipiert, dass sie die Anforderungen der Verfahrenstechnik erfüllt. Die TubeStar-Reihe ist modular und flexibel. Sie kann aus 1 bis 4 unabhängigen Rohren bestehen, mit einer Kapazität von 50 Wafern pro Rohr.
PLUS UND VORTEILE
Die TubeStar-Ofenplattform eignet sich hervorragend für die Verarbeitung kleiner Mengen von Wafern, aber dank ihrer Flexibilität auch für die Behandlung großer Chargen. Diese haben ihre Effizienz bei der Qualifizierung von Prozessänderungen, z. B. in PV-Fertigungslinien, unter Beweis gestellt.
Eines der Hauptmerkmale dieses Rohrofens ist die präzise Wärmebehandlung in Verbindung mit einer hohen Flexibilität bei der Einstellung. Dies ermöglicht ein breites Spektrum von Anwendungen.
MÖGLICHE ANWENDUNGEN
Diffusion
LPCVD
Oxidation
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Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.