Vakuumkompatible-Positioniertische

Hub: 1 mm - 40 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 200 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 5 µm

LA92 Hochgeschwindigkeits-UHV-Linearachse Anwendung: Hochauflösende und schnelle Scananwendungen Nutzen: Schnelle Positionierung im UHV, auch vertikal Merkmale: Hervorragende Auflösung, sehr schlank, mit internem Motor - Vakuum: ...

Hub: 1 mm - 100 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 10 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,4 µm - 5 µm

LT300 Präziser Lineartisch für hohe Belastungen Anwendung: Transporttisch, Scanningtisch für hohe Lasten Vorteil: Hohe Lebensdauer trotz Trockenschmierung Features: Spindel mit Trockenschmierung oder Kugelumlaufspindel mit flüssigen ...

Hub: 1 mm - 300 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s - 10 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,015 µm - 5 µm

LA97 Nanometer-Lineartisch Anwendung: Scannen Nutzen: Nanometer-Positionierung, auch vertikal Features: Positionierung mit extremer Auflösung und höchster Steifigkeit kann mit 2 (oder 4) Motoren ausgestattet werden - Vakuum: ...

Hub: 26 mm
Geschwindigkeit: 20 mm/s
Wiederholbarkeit: 40, 200 nm

Mit Abmessungen von 40 x 17 x 8,5 mm bietet der SLC-1740 einen Verfahrbereich von 26 mm und eine zulässige Normallast von 30 N. Bitte beachten Sie, dass die herunterladbaren Dokumente für diesen linearen Piezotisch die Abmessungen ...

Hub: 31 mm
Geschwindigkeit: 20 mm/s
Wiederholbarkeit: 40, 200 nm

Der SLC-1750 bietet einen Verfahrbereich von 31 mm und eine zulässige Normallast von 30 N bei Abmessungen von 50 x 17 x 8,5 mm. Bitte beachten Sie, dass die herunterladbaren Dokumente für diesen linearen Piezotisch die Abmessungen ...

Hub: 41 mm
Geschwindigkeit: 20 mm/s
Wiederholbarkeit: 40, 200 nm

Bei Abmessungen von 60 x 17 x 8,5 mm bietet der SLC-1760 einen Verfahrweg von 41 mm und eine zulässige Normallast von 30 N. Bitte beachten Sie, dass die herunterladbaren Dokumente für diesen linearen Piezotisch die Abmessungen und ...

Hub: 25 mm - 200 mm
Geschwindigkeit: 0 m/s - 0,1 m/s

Hub: 20 mm - 40 mm
Geschwindigkeit: max 0.048 m/s

Hub: 10 mm
Geschwindigkeit: 1 mm/s

Hub: 3 mm
Geschwindigkeit: 1,5 mm/s

Hub: 8 mm
Geschwindigkeit: 1,2 mm/s

Hub: 100, 50 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,5 µm - 4 µm

• Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10E-11 mbar • Schmierung flüssig bis 10E-8 / trocken bis 10E-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: 120°C • Reinraum Klasse 4 nach ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • Verfügbar als magnetische ...

• Vakuum: alle Bereiche HV bis 10E-8 mbar • Schmierung flüssig bis 10E-8 mbar • Max. Ausheiztemperatur: 100°C Optional konfigurierbar: • Verfügbar als magnetische und magnetarme Ausführung • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl ...

Hub: 30, 50, 100 mm
Geschwindigkeit: 5, 50 mm/s

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10E-11 mbar Schmierung flüssig bis 10E-8 / trocken bis 10E-11 mbar Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optional konfigurierbar: • Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung • ...

Hub: 50 mm - 200 mm

Hub: 13, 26 mm
Geschwindigkeit: 8 mm/s
Wiederholbarkeit: 100, 200 nm

• Nur 45 mm breit • Antriebskraft 7 N • Inkrementelle Sensoren mit Nanometer-Positionsauflösung • XY-Kombinationen ohne Adapterplatte möglich Piezoträgheitsantriebe sind platzsparende und preiswerte piezobasierte Antriebe mit relativ ...

Hub: 10, 13 mm

... XYZ-Piezotisch Piezomotorisch angetrieben Verfahrweg 13 x 13 x 10 mm UHV-kompatibel ...

... Die XRT-U 30 ist ein kompakter und präziser Drehtisch, der von einem Ultraschall-Piezomotor angetrieben wird. Mit der XRT-U 30 erreichen Sie Fehlerbewegungen, die mit luftgelagerten Drehtischen vergleichbar sind, aber in einem kleineren ...