Linearer Positioniertisch LA97

piezoelektrisch1-AchsKreuzrollen

LA97 Nanometer-Lineartisch Anwendung: Scannen Nutzen: Nanometer-Positionierung, auch vertikal Features: Positionierung mit extremer Auflösung und höchster Steifigkeit kann mit 2 (oder 4) Motoren ausgestattet werden - Vakuum: alle Druckbereiche HV / UHV bis zu 10E-11 mbar - Magnetismus: magnetisch | niedermagnetisch | magnetfrei - Schmierung: Flüssigkeit bis 10E-8 / Trockenschmierung bis 10E-11 mbar - Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optionen: - Magnetische, niedermagnetische und magnetfreie Versionen verfügbar - Auf die Anwendung abgestimmte Materialauswahl und Vakuumschmierung - Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer - Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) - Optional mit Steuerung FMC400/450 Technische Daten - Verfahrweg: 100 mm - 300 mm - Wiederholgenauigkeit: ± 0,015 µm (unidirektional) ± 0,02 µm (bidirektional) - Last: → 98 N / ↑ 58 N - Max. Geschwindigkeit: 10 mm/s - Motor: Piezo-Motor - Führung: Kreuzrollenlager aus Edelstahl, Hybrid, optional Vollkeramik - Feedback: Lineare Skala - Auflösung des Messsystems: ± 0,1 µm