Linearer Positioniertisch LA80

elektrisch1-AchsLanghub

LA80 Hochgeschwindigkeits-UHV-Linearachse Anwendung: schnelle Transportbühne Vorteil: hohe Lebensdauer trotz Trockenschmierung Merkmale: trockengeschmierter Kugelgewindetrieb - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis zu 10E-11 mbar - Magnetismus: magnetisch - Schmierung: flüssig bis zu 10E-8 / trocken bis zu 10E-11 mbar - Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optionen: - Wahlweise mit und ohne Messsystem - Materialauswahl und Vakuumschmierung angepasst an die Anwendung - Kombinierbar mit einem schnellen XYZ-Transfersystem (z.B. LA90, LA95, LA170) - Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer - Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) - Optional mit Bewegungssteuerung FMC400/450 Technische Daten - Verfahrweg: 200mm - 500mm - Wiederholgenauigkeit: ± 3µm, ± 0,3µm (unidirektional) ± 4µm, ± 0,5µm (bidirektional) - Last: → 49 N / ↑ 9 N - Max. Geschwindigkeit: 100 mm/s - Motor: Schrittmotor - Führung: Edelstahl-Hybrid-Kugelumlaufführungen - Rückmeldung: Offene Schleife, Linearmaßstab - Auflösung der Rückmeldung: ± 0,5 µm