Linearer Positioniertisch LA92

mit Linearmotor1-AchsKreuzrollen

LA92 Hochgeschwindigkeits-UHV-Linearachse Anwendung: Hochauflösende und schnelle Scananwendungen Nutzen: Schnelle Positionierung im UHV, auch vertikal Merkmale: Hervorragende Auflösung, sehr schlank, mit internem Motor - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis zu 10E-11 mbar - Magnetismus: magnetisch | niedermagnetisch | magnetfrei - Schmierung: flüssig bis zu 10E-8 / trocken bis zu 10E-11 mbar - Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optionen: - Materialauswahl und Vakuumschmierung angepasst an die Anwendung - Kombinierbar mit einem XYZ-Transfersystem (z.B. LA90, LA95, LA170) - Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer - Optional mit Motion Controller FMC400/450 Technische Daten - Verfahrweg: 40 mm - Wiederholgenauigkeit: ± 0,3 µm (unidirektional) ± 0,4 µm (bidirektional) - Last: → 19 N / ↑ 9 N - Max. Geschwindigkeit: 200 mm/s - Motor: Nanomotion - Führung: Kreuzrollenlager aus Edelstahl, Hybrid, optional Vollkeramik - Feedback: Linearmesssystem - Auflösung des Messsystems: 0,005 µm - 0,1 µm