Linearer Positioniertisch KDT300

elektrisch2-AchsKreuzrollen

KDT300 Stabiler Hochlast-xy-Tisch Anwendung: Transporttisch, Scanningtisch für hohe Lasten Vorteil: hohe Lebensdauer trotz Trockenschmierung Merkmale: hohe Lebensdauer trotz Trockenschmierung - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis zu 10E-11 - Flüssigschmierung bis 10E-11 - Apertur: 80 x 80 mm - Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optionen: - Mit und ohne Messsystem - Wahlweise mit Steuerung FMC400/450 - Verfahrwege bis zu 80 mm für Lasten bis zu 10 kg - Wahlweise mit Spindelantrieb oder geschmiertem Kugelgewindetrieb für höhere Geschwindigkeiten - Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT155) für rotierende Anwendungen - Auf die Anwendung abgestimmte Materialauswahl und Vakuumschmierung - Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer - Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) Technische Daten: - Verfahrwege: 10 mm, 50 mm, 10 mm - Wiederholgenauigkeit: - ± 2,8 µm, ± 0,7 µm, ± 0,4 µm, ± 2,8 µm (unidirektional) ± 0,5 µm, ± 4 µm (bidirektional) - Last: → 44 N / ↑ 120 N - Max. Geschwindigkeit: 10 mm/s - Motor: Schrittmotor - Führung: Kreuzrollenlager aus rostfreiem Stahl, Hybrid - Feedback: Offene Schleife, lineare Skala - Auflösung des Messsystems: 0,1 µm