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Wiederholbarkeit: 2,5 µm - 6,5 µm
Hub: 50 µm - 275 µm
Geschwindigkeit: 30 mm/s - 50 mm/s
XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie Kundenspezifisch anpassbar • Ideal für hochsteife und präzise Vermessungen ohne Einfluss von Schwingungen • Hoher Durchsatz durch Verfahrwege von 150 x 275 x 50 mm, erweiterbar auf ...
Wiederholbarkeit: 0,4, 0,7 µm
Ladung: 28, 10, 0,5 kg
Hub: 3, 5 mm
MP700-3 Flacher 3D Aligner Kundenspezifisch anpassbar: • Ideal zur hochpräzisen Ausrichtung von großer Substrate, Masken, Rahmen • Ausgelegt für große Proben mit einer Apertur von 730 x 730 mm • Hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.4 ...
Wiederholbarkeit: 3 µm
Geschwindigkeit: 1 m/s
... Mehrachs-Hanldingsystem. Produktinformation der Sonderlösung mit einem X-Y Mehrachs-Hanldingsystem mit Luftlager Mehrachssystem mit: Luft gelagertes 2 Achssystem Lager: Luftlager auf X und Z Achse Grundaufbau: ...
... Linearmotor, Luftlager | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle | Verfahrwege bis 600 x 600 mm Universelles XYZ Positioniersystem für präzise Positionieraufgaben Der kundenspezifische Bearbeitungskopf bzw. Sensor ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
... Linearmotor, Luftlager | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor Ultrapräzises Vermessen von großen, hohen Teilen Dieses XYZ Positioniersystem eignet sich für hochpräzise Vermessungen von großen und hohen Proben über 450 ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
... Verfahrwegen bis 2500 x 1500 mm | Positioniersystem X Linearmotor, Luftlager | Y Kugelgewindetrieb, AC-Servo Luftlager-Portalsystem für hohe Lasten und große Verfahrwege Dieses luftgelagerte XY Positioniersystem ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Wiederholbarkeit: 5,5, 2,5, 6,5, 4,5 µm
XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie | Verfahrwege bis 550 x 1550 mm | Luftlager, Kugelgewindetrieb, Riemen, Schrittmotor Hochstabiles AFM-Luftlagergantry mit großen Verfahrwegen Dieses sehr steife XYZ Gantry ist speziell ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Wiederholbarkeit: 1, 2, 1,4 µm
XYZ Gantry für 3D-Inspektion, Schichtdickenmessung | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor | Verfahrwege bis 600 x 600 mm Hochdurchsatz Gantry mit Mikroskophalterung für hochauflösende Durchlichtmessungen Dieses ...
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