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Wiederholbarkeit: 50 nm
Hub: 6, 11 mm
... Basisplatte von nur 70 mm und einem Gewicht von lediglich 200 g. Der SMARPOD 70.42 ist das kompakteste Hexapod-artige Positioniersystem mit einem Basisplattendurchmesser von nur 70 mm. Trotz seiner Kompaktheit handelt es sich um ein ...
SmarAct GmbH
Wiederholbarkeit: 50 nm
Hub: 11, 20 mm
... Der mittelgroße SMARPOD 110.45 hat einen Durchmesser der Basisplatte von 110 mm und bietet einen Verfahrweg von 20 mm in X- und Y-Richtung. Der SMARPOD 110.45 kann Nutzlasten von bis zu 5 N positionieren und bietet einen Verfahrweg von 20 mm in X- ...
SmarAct GmbH
Wiederholbarkeit: 50 nm
Hub: 42, 24 mm
... Der SMARPOD 225.75 hat einen Durchmesser der Basisplatte von 225 mm und bietet einen Verfahrweg von 42 mm in X- und Y-Richtung. Der SMARPOD 225.75 kann Nutzlasten von bis zu 5 N positionieren. Er gehört zu den größeren SmarAct SMARPODs und bietet einen ...
SmarAct GmbH
Wiederholbarkeit: 50 nm
Hub: 30, 50, 10 mm
... Der mittelgroße SMARPOD basiert auf den SLC-17 Positionieren in einer parallelen Anordnung und bietet einen Verfahrweg von 50 mm in X-Richtung. Der SMARPOD P-SLC-17 kann Nutzlasten von bis zu 5 N positionieren. Er basiert auf einem anderen Mechanismus ...
SmarAct GmbH
Wiederholbarkeit: 50 nm
Hub: 62, 102, 17 mm
... Der große SMARPOD basiert auf den SLC-24 Positionieren in einer parallelen Anordnung und bietet einen Verfahrweg von 102 mm in X-Richtung. Der SMARPOD P-SLC-24 kann Nutzlasten von bis zu 5 N positionieren. Er basiert auf einem anderen Mechanismus als ...
SmarAct GmbH
Wiederholbarkeit: 100 nm
Hub: 17, 62, 330 mm
... Antriebseinheiten (EDUs) ausgestattet, die einen einfachen und schnellen Austausch des Piezoantriebs gewährleisten, ohne dass das Positioniersystem vollständig demontiert werden muss. Die Werte für den Drehweg sind für einen Drehpunkt ...
SmarAct GmbH
... Closed-Loop Nanoprobing der nächsten Stufe Außergewöhnliche Merkmale Closed-loop Positionierung mit 1 nm Auflösung Aktives Halten der Position Großer Scanbereich und geringer thermischer Drift Großflächiges Probing auf vollen 30 x 30 mm Hochgeschwindigkeits-EBAC/EBIC-Abbildung ...
SmarAct GmbH
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