Closed-Loop Nanoprobing der nächsten Stufe
Außergewöhnliche Merkmale
Closed-loop Positionierung mit 1 nm Auflösung
Aktives Halten der Position
Großer Scanbereich und geringer thermischer Drift
Großflächiges Probing auf vollen 30 x 30 mm
Hochgeschwindigkeits-EBAC/EBIC-Abbildung
Effiziente und einfache Handhabung
All-in-One-Benutzeroberfläche
Automatische Landung und Zusammenführung aller Sonden
"Point & Click"-Navigation innerhalb des SEM-Bildes
Gruppenbewegungen und "Step & Repeat"
CAD-Navigation für Probe und Nadeln