Optische Sonde SP series

Laborzur elektrischen Charakterisierung

Dank seines closed-loop Bewegungssystems ermöglicht der SMARPROBE eine Positionierung mit unübertroffener Wiederholgenauigkeit und Stabilität – selbst im Nanometerbereich. Dadurch werden Drift, manuelle Korrekturen und Spekulationen während der Messung vermieden, sodass komplexe Messungen schneller, zuverlässiger und in hohem Maße automatisierbar sind. Das bedeutet Closed-Loop – und das macht den Unterschied. Der SMARPROBE SP4 bietet 4 Manipulatoren, der SP6 erweitert diese auf 6 und der SP8 unterstützt bis zu 8 Manipulatoren. Jedes System umfasst einen Probenhalter. Alle Manipulatoren verfügen über drei Freiheitsgrade und sind mit optischen Encodern mit Nanometerauflösung für hochpräzise elektrische Messungen ausgestattet. Intelligente Positionierungsroutinen in der speziellen Steuerungssoftware sowie die Möglichkeit, bis zu vier SEM-Probenhalter zu laden, maximieren die Benutzerfreundlichkeit und den Durchsatz für jede Nanoprobing-Aufgabe. Aufbauend auf dem führenden Know-how von SmarAct im Bereich der piezobasierten Nanopositionierung garantiert die robuste mechanische Konstruktion höchste Stabilität und intuitive Bedienung. Alle SMARPROBE-Systeme sind mit einer Vielzahl von FIBs, SEMs und optischen Mikroskopen kompatibel und somit die ideale Lösung sowohl für die Nachrüstung bestehender Arbeitsabläufe als auch für die Integration in neue Instrumente. Die SMARPROBE-Probing-Systeme unterstützen elektrische Charakterisierungstechniken von 2-Kontakt-EBIC/EBAC bis hin zu fortschrittlichen 4- und 6-Punkt-Probing-Messungen und sind damit ein unverzichtbares Werkzeug für Halbleiter-Fehleranalyselabore.