HORIBA Massendurchflussmesser

Durchsatz: 0 l/min - 0,1 l/min
Prozesstemperatur: 0 °C - 80 °C
Prozessdruck: 1,1 bar - 3,5 bar

... In kritischen Halbleiterherstellungsprozessen werden kontinuierlich Präzisionsgasflusssteuerungsgeräte benötigt, die sowohl zukünftige Innovationen als auch den Übergang von modernsten Speicher- und Logikbauteilen vom Labor zur Fertigung ermöglichen. ...

Prozesstemperatur: 0 °C - 80 °C
Prozessdruck: 0,13 bar - 4 bar
Wiederholbarkeit: 0,01 % - 0,3 %

... Der D700WR installiert eine neue Drossel, die speziell für einen großen Regelbereich mit hoher Genauigkeit auf Basis der CRITERION™-Technologie entwickelt wurde. Der D700WR kann den Durchfluss bis auf 0,1 % des Skalenendwerts regeln, was dem Benutzer ...

Prozesstemperatur: 0 °C - 80 °C
Prozessdruck: 3,5 bar - 7,5 bar
Wiederholbarkeit: 0,03 % - 0,3 %

... Dieses hochmoderne, druckunempfindliche Massendurchflussmodul ist mit einer Differenzdruckerfassung und einem Piezo-Aktuatorventil ausgestattet. Das hohe Leistungsniveau des CRITERION D500 stellt sicher, dass es für eine Reihe von fortschrittlichen Halbleiterherstellungsprozessen ...

Prozesstemperatur: 15 °C - 45 °C
Prozessdruck: 2,4 bar - 4,12 bar

... Der D700uF (Micro Flow) ist für Durchflussanwendungen von ≤ 5SCCM ausgelegt. die Durchflussregelung von ≤ 5SCCM ist bei Prozessen mit hohem Aspektverhältnis sehr kritisch Spezialisierte Komponenten und ein neu entwickelter interner Standard für niedrige ...

Prozesstemperatur: 15 °C - 60 °C
Prozessdruck: 2,4 bar - 3,5 bar

... Das D700T ist das leistungsstärkste druckunempfindliche Massendurchflussmodul, das für kritische Halbleiterfertigungsprozesse entwickelt wurde. Das D700T adaptiert die druckbasierte Durchflussmess- und -regeltechnologie von HORIBA CRITERION, um eine branchenführende, ...

Durchsatz: 0,1, 0,3 l/min
Prozessdruck: 0,5 bar - 4 bar
Wiederholbarkeit: 0,15, 0,01 %

... Die SEC-Z700S Serie ist mit neu entwickelten thermischen Sensoren und einer druckunabhängigen Funktion für eine stabile Durchflussregelung ausgestattet. Die integrierte Druckmessung reduziert die Kosten, die Größe und die Komplexität von Gasversorgungssystemen. Eine ...

... HORIBA STEC, Co., Ltd. kündigte am 14. Januar die Einführung des DZ-107 als neuestes Modell seiner Serie von ultradünnen Massendurchflussreglern an. Dieses Produkt erhöht den vollen Durchfluss*1 im Vergleich zu den Vorgängermodellen um das Siebenfache ...

Durchsatz: 0 us gal/min - 100 us gal/min
Prozesstemperatur: 5 °C - 50 °C
Prozessdruck: 0,5 bar - 3 bar

... Einfluss von Sekundäraustritten (Verdampfung) und ermöglicht genaue Durchflussmessungen. Aufbau/Arbeitsprinzip Die Massendurchflussmesser der Serien LV-F und LF-F arbeiten nach dem gleichen Messprinzip. Der LV-F verfügt zusätzlich über ...