Thermischer Massen-Durchflussmesser D700MGfür GasPräzisiondigital
Zu meinen Favoriten hinzufügen
Zum Produktvergleich hinzufügen
Eigenschaften
- Technologie
- thermisch/Massen
- Flüssigkeit
- für Gas
- Weitere Eigenschaften
- digital, Präzision
- Durchsatz
Max: 0,1 l/min
(0 us gal/min)Min: 0 l/min
(0 us gal/min)- Prozesstemperatur
Max: 80 °C
(176 °F)Min: 0 °C
(32 °F)- Prozessdruck
Max: 3,5 bar
(50,76 psi)Min: 1,1 bar
(15,95 psi)- Wiederholbarkeit
Max: 0,3 %
Min: 0,02 %
Beschreibung
Druckunempfindliches Massendurchflussmodul für hohe Geschwindigkeit und Präzision
In kritischen Halbleiterherstellungsprozessen werden ständig Präzisionsgasflusssteuerungsgeräte benötigt, die sowohl zukünftige Innovationen als auch den Übergang von modernsten Speicher- und Logikbauteilen vom Labor zur Fertigung ermöglichen. HORIBA bietet das neue druckbasierte MFC D700MG an, das obere kompatible Modell des D500MG, um die Herausforderungen der Kunden zu unterstützen.
Merkmale
On-Tool Gas- und Vollskala-Konfigurationsänderung *nur EtherCAT
Bietet Flexibilität für die Prozessoptimierung
100 ms Hochlaufzeit & MFC-zu-MFC-Abweichungsregelung
Erzielt hohe Produktivität und bessere Prozessleistung
MRMG-Funktionalität für kleine Durchflussmengen (Bin101 - Bin105)
Bietet Flexibilität für Prozesse, die eine kleine Durchflussrate erfordern
Bessere Ventilabsperrung und Korrosionsbeständigkeit durch PFA-Düse
Robustheit mit geringerem Partikelrisiko reduziert Ausfallzeiten und optimiert den Ertrag
Zustandsüberwachungsfunktion
Bereitstellung von mehr internen Daten für eine intelligentere Fehlervorhersage
---
Kataloge
Für dieses Produkt ist kein Katalog verfügbar.
Alle Kataloge von HORIBA STEC anzeigenMessen
Sie können diesen Hersteller auf den folgenden Messen antreffen
Weitere Produkte von HORIBA STEC
Mass Flow Controller and Module
Verwandte Suchbegriffe
- Durchflussanzeigegerät
- Durchflussanzeigegerät für Flüssigkeiten
- Manometer
- Durchflussanzeigegerät für Gas
- Analoger Druckanzeiger
- Inline-Durchflussmesser
- Präzisions-Durchflussmesser
- Kompaktes Durchflussanzeigegerät
- Massen-Durchflussanzeigegerät
- DC-Durchflussmesser
- Digitales Durchflussanzeigegerät
- RS485-Durchflussanzeigegerät
- Absoluter Druckanzeiger
- Thermischer Massen-Durchflussmesser
- Membran-Druckanzeiger
- Differential-Durchflussmesser
- Durchflussmesser / 15 V DC
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.