Thermischer Massen Durchflussregler SEC-Z500X series

für Gasdigitalanalog

Digitaler Mehrbereichs/Mehrgas-Massendurchflussregler Dies ist das meistverkaufte Modell der digitalen Massedurchflussregler von HORIBA. Er verfügt über Mehrbereichs-/Mehrgasfunktionen, die es dem Benutzer ermöglichen, die Gasart oder die Durchflussmenge vor Ort schnell und einfach zu ändern. Mit einer hohen Genauigkeit von +/- 1,0 % S.P., einem Piezo-Aktuatorventil, einer hohen Ansprechgeschwindigkeit und einer Ganzmetallkonstruktion eignet sich dieser Massedurchflussregler zur Verbesserung der Prozessausbeute und zur Vereinfachung des Teilemanagements. Digital/Analog-, DeviceNet™- und EtherCAT®-Kommunikation sind alle verfügbar. Hohe Genauigkeit ±1,0% S.P. Die Linearität dieses Massendurchflussreglers wird durch eine polynomiale Näherungskurve kompensiert und erreicht eine hohe Genauigkeit für alle Durchflussregelbereiche. Um die tatsächliche Gasgenauigkeit zu verbessern, werden die Kalibrierungsdaten verschiedener Prozessgase mit dem Standardgasmesssystem von HORIBA STEC gemessen. Hohe Reaktionsgeschwindigkeit Installiert mit dem "Variablen PID-System", das eine Reaktionszeit von 1 Sekunde zwischen zwei beliebigen Sollwerten erreichen kann. Das variable PID-System ändert sich kontinuierlich in Abhängigkeit von der Einstellung des Durchflusspunktes. Dadurch kann der PID-Faktor optimiert werden, wenn der Gesamtdurchfluss und die Gase geändert werden. Multi-Gas/Multi-Range-Lösung Die Konfigurationssoftware ermöglicht es, Spezifikationen schnell und einfach zu ändern. Ein wichtiges Merkmal ist, dass die Änderungen vorgenommen werden können, ohne dass der Massendurchflussregler von der Gastafel oder den Rohrleitungen entfernt werden muss. Dadurch wird die Anzahl der erforderlichen Ersatz-Massedurchflussregler reduziert, was sowohl Zeit als auch Kosten spart. Der Massendurchflussregler SEC-Z500X eignet sich für verschiedene Anwendungen sowie für die Halbleiterherstellung.