Thermischer Massen-Durchflussmesser DZ-107

Massenfür Gas

HORIBA STEC, Co., Ltd. kündigte am 14. Januar die Einführung des DZ-107 als neuestes Modell seiner Serie von ultradünnen Massendurchflussreglern an. Dieses Produkt erhöht den vollen Durchfluss*1 im Vergleich zu den Vorgängermodellen um das Siebenfache und erreicht einen maximalen Massendurchfluss von 20 SLM*2, den höchsten in seiner Klasse*3, und das bei einer ultradünnen Breite von 10 mm. Der DZ-107 erhöht außerdem die maximale Betriebstemperatur von 45°C auf 60°C, um Gase zu unterstützen, die in der Präzisionsfertigung von Spitzen-Halbleitern verwendet werden. Diese funktionalen Verbesserungen erhalten nicht nur die Effektivität der Vorgängermodelle bei Ätzprozessen aufrecht, sondern unterstützen auch Chemical Vapor Deposition (CVD) und Atomic Layer Deposition (ALD) Anwendungen, die eine hohe Flusskontrolle erfordern. Da moderne Halbleiterbauelemente die Grenzen der Miniaturisierung und Integration immer weiter hinausschieben, werden die Anforderungen an Massenflussregler in Prozessen wie Ätzen und Gießen immer anspruchsvoller und komplexer. Um den vielfältigen Anforderungen gerecht zu werden, bemühen sich die Hersteller von Halbleiterproduktionsanlagen um ein Gleichgewicht zwischen der Notwendigkeit, die Anzahl der Massendurchflussregler zu erhöhen und gleichzeitig die Gaspanels*4 zu miniaturisieren, in denen diese Geräte installiert werden. HORIBA STEC hat den DZ-107 entwickelt, um die Produktfähigkeiten zur Bewältigung dieser Herausforderung vollständig zu verbessern und gleichzeitig die einzigartig geringe Breite von 10 mm des im Jahr 2020 eingeführten DZ-100 beizubehalten. Dies beinhaltet eine Erweiterung des Durchfluss- und Betriebstemperaturbereichs sowie die Unterstützung von EtherCAT®*5. *1 Maximale Durchflussmenge, für die das Gerät kalibriert ist und die es genau messen und regeln kann *2 Standard Liter pro Minute (SLM) liefert einen numerischen Wert in Litern, der angibt