HORIBA Durchflussmesser für Gas

Durchsatz: 0 l/min - 0,1 l/min
Prozesstemperatur: 0 °C - 80 °C
Prozessdruck: 1,1 bar - 3,5 bar

... MFC D700MG an, das obere kompatible Modell des D500MG, um die Herausforderungen der Kunden zu bewältigen. Merkmale On-Tool Gas- und Vollskalen-Konfigurationsänderung *nur EtherCAT Bietet Flexibilität für die Prozessoptimierung 100 ...

Prozesstemperatur: 0 °C - 80 °C
Prozessdruck: 0,13 bar - 4 bar
Wiederholbarkeit: 0,01 % - 0,3 %

... Der D700WR installiert eine neue Drossel, die speziell für einen großen Regelbereich mit hoher Genauigkeit auf Basis der CRITERION™-Technologie entwickelt wurde. Der D700WR kann den Durchfluss bis auf 0,1 % des Skalenendwerts regeln, was dem Benutzer ...

Prozesstemperatur: 0 °C - 80 °C
Prozessdruck: 3,5 bar - 7,5 bar
Wiederholbarkeit: 0,03 % - 0,3 %

... Halbleiterherstellungsprozessen eingesetzt werden kann: druckunempfindlich, Mehrbereichs-/Mehrgas-/Mehrdruckfunktion, G-LIFE-Selbstdiagnosefunktion ( Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation), hohe Genauigkeit, schnelles Ansprechverhalten, ...

Prozesstemperatur: 15 °C - 45 °C
Prozessdruck: 2,4 bar - 4,12 bar

... Der D700uF (Micro Flow) ist für Durchflussanwendungen von ≤ 5SCCM ausgelegt. die Durchflussregelung von ≤ 5SCCM ist bei Prozessen mit hohem Aspektverhältnis sehr kritisch Spezialisierte Komponenten und ein neu entwickelter interner Standard für niedrige ...

Prozesstemperatur: 15 °C - 60 °C
Prozessdruck: 2,4 bar - 3,5 bar

... Das D700T ist das leistungsstärkste druckunempfindliche Massendurchflussmodul, das für kritische Halbleiterfertigungsprozesse entwickelt wurde. Das D700T adaptiert die druckbasierte Durchflussmess- und -regeltechnologie von HORIBA CRITERION, um eine branchenführende, ...

Durchsatz: 0,1, 0,3 l/min
Prozessdruck: 0,5 bar - 4 bar
Wiederholbarkeit: 0,15, 0,01 %

... Die SEC-Z700S Serie ist mit neu entwickelten thermischen Sensoren und einer druckunabhängigen Funktion für eine stabile Durchflussregelung ausgestattet. Die integrierte Druckmessung reduziert die Kosten, die Größe und die Komplexität von Gasversorgungssystemen. Eine ...

... HORIBA STEC, Co., Ltd. kündigte am 14. Januar die Einführung des DZ-107 als neuestes Modell seiner Serie von ultradünnen Massendurchflussreglern an. Dieses Produkt erhöht den vollen Durchfluss*1 im Vergleich zu den Vorgängermodellen um das Siebenfache ...