BIO-UV Temperaturmesssysteme
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... Das OBS-ONE PN ist ein On-Board-Emissionsmesssystem zur Analyse der Feststoffpartikelanzahlkonzentration innerhalb des spezifizierten Partikelgrößenbereichs unter realen Fahrbedingungen. Das Gerät verwendet einen Kondensationspartikelzähler, dessen Prinzip ...
... Die EtchTemp™-Serie von In-situ-Wafer- Temperaturmesssystemen, die sowohl in 300-mm- als auch in 200-mm-Konfigurationen erhältlich sind, erfasst die Auswirkungen der Plasmaätzprozessumgebung auf Produktionswafer unter realen Prozessbedingungen. ...
KLA Corporation
... Die HighTemp™-Serie von In-Situ-Wafer- Temperaturmesssystemen, die sowohl in 300-mm- als auch in 200-mm-Konfigurationen erhältlich sind, wurde für die Optimierung und Überwachung von fortschrittlichen Schichtprozessen (FEOL und BEOL ALD, ...
KLA Corporation
... Das WetTemp™-System zur In-situ-Temperaturmessung von Wafern, das sowohl in 300-mm- als auch in 200-mm-Konfigurationen erhältlich ist, unterstützt die Überwachung von Nassreinigungs- und anderen Nassprozessen. Die Überwachungswafer der WetTemp-Serie sind ...
KLA Corporation
... Das MaskTemp 2-System zur In-situ-Messung der Reticle-Temperatur wird von Maskenherstellern zur Qualifizierung und Überwachung von E-Beam-Writern und Hochtemperatur-Reticle-Prozessschritten eingesetzt. Das MaskTemp 2 spielt eine Schlüsselrolle bei der ...
KLA Corporation
... Das SensArray® Automation-Paket für das In-situ-Prozessmanagement ermöglicht eine schnelle automatisierte Erfassung von Temperaturmessungen in der Prozesswerkzeugkammer und bietet gleichzeitig halbautomatische Funktionen zur Unterstützung von Fab-Startups. ...
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