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Rack-Stromversorgung ECBAC/ACEinfachausgangSchaltnetzteil
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Eigenschaften
- Format / Montage
- Rack
- Typ
- AC/AC
- Ausgang
- Einfachausgang
- Technologie
- Schaltnetzteil
- Eingangsspannung
120 V, 220 V
- Ausgangsspannung
1 kV
- Stromstärke
Max: 0 A
Min: 0 A
- Leistung
15 W
Beschreibung
Bei der ECB-Serie handelt es sich um Hochspannungsverstärker für elektrostatische Saugnäpfe (E-Chuck, ESC). Zusätzlich zur Polaritätsumschaltung und Zwangserdung bietet die Familie auch ein Wafer-Überwachungssystem, um die Anforderungen der Wafer-Inspektion zu erfüllen. Darüber hinaus unterstützt die Serie mit ihrem breiten Spannungsbereich elektrostatische Coulomb- und Johnsen-Rahbek-Sauger.
Anwendung：
Elektrostatisch angetriebener Materialtransport
Halbleiter-Wafer-Verarbeitung
Nichtmechanischer Transfer von Platten oder anderen bearbeiteten Materialien, die empfindlich auf mechanische Handhabung reagieren
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