Stromversorgung / closed frame HEM

DC/DCISOHochspannung

Die Hochspannungsnetzgeräte der HEM-Serie von Wisman sind umfassende Hochspannungsnetzgeräte mit mehreren Ausgängen für die Fokussierung von Ionenstrahlen. Typische Anwendungen sind die Transmissions- und Rasterelektronenmikroskopie, die Halbleiteranalyse, das Fräsen und Reparieren von optischen Antriebsköpfen, Ionen, Strahlätzen und fokussierte Ionenstrahllithographie. Die modulare Bauweise ermöglicht eine einfache Konfiguration und Montage der einzelnen Komponenten auf einem großen Chassis in einem gemeinsamen Gestell. Schnittstellen-, Logik- und Steuerschaltungen sind in Oberflächenmontagetechnik ausgeführt, um Kosten und Größe zu minimieren. Integrierte Beschleunigungsstromversorgung, Filamentstromversorgung, absorbierende polare Leistung, inhibierende polare Leistung und Linsenleistung. Ultra-niedrige Ausgangswelligkeit, hervorragende Anpassungsrate, Stabilität, Temperaturdrift und Genauigkeit. Patentierte Hochspannungsaufhängung und digitale Steuerungstechnologie. Die hochpräzisen Module der HEM-Serie sind preislich konkurrenzfähig und eignen sich ideal für OEM-Anwendungen. TYPISCHE ANWENDUNG Transmissions-Rasterelektronenmikroskop Rasterelektronenmikroskop Analyse von Halbleitern Bearbeitung und Reparatur Ionenstrahl-Ätzen Fokussierte Ionenstrahllithographie Restwelligkeit 2ppm SPEZIFIKATION Leistung des Beschleunigers Restwelligkeit: 70 mV P-P, von 0,1 Hz bis 1MHZ Leitungsregelung: Eingangsänderung + / -10% für 100mV Lastregelung: ± 0,01%, maximale Spannung, volle Laständerung Stabilität: nach 2 Stunden Aufwärmen, 1,5V/10 Stunden Temperaturkoeffizient: 25 PPM/°C Leistung des Extraktors Restwelligkeit: 30 mV P-P, von 0,1 Hz bis 1 MHZ, unter 30μA Leitungsregelung: Eingang + / -10% Änderung ist 100mV Lastregelung: ± 0,01%, maximale Spannung, volle Laständerung Stabilität: Nach Vorwärmung für 2 Stunden, 500mV/10 Stunden Temperaturkoeffizient: 25 PPM/°C