Rack-Stromversorgung EC

DC/DCISO

Die EC-Serie der softwaregesteuerten elektrostatischen Sauger-Stromversorgungen von Wisman bietet eine Reihe von Merkmalen, die eine breite Palette anspruchsvoller Anwendungen erfüllen. Das Gerät verwendet die Wisman-Verstärkertechnologie, die nachweislich die Effizienz und den Durchsatz im Vergleich zu anderen Stromquellen um das Dreifache erhöht. Reduzierung von Gasfehlern auf der Rückseite, Verbesserung des Durchsatzes und Beseitigung von Wafer-Stick/Burst-Problemen; Steuerung von Parametern wie Überstrom, Anwesenheit von Wafer und Wafer-Klemmschwellen, Klemmspannung, Offset-Spannung und interne oder externe Amplituden-/Offset-Steuerung; Vielseitigkeit der Amplituden-/Offset- und Ausgangskontrolle während der Einstellung; Steuerung des Ausgangs über rückseitige E/A, serielle Computerbefehle oder Bedienelemente auf der Vorderseite; Konfiguration von benutzerdefinierten Klemm- und Klemm-Entfernungssequenzen und Wellenformen. Die vielseitige und bewährte Leistung des EC von Wisman ermöglicht den Einsatz in mehreren einzigartigen Werkzeugen und Prozessen, ohne dass für jedes einzelne Werkzeug oder jeden Prozess in der Anlage neue Kosten anfallen. Produktmerkmale: Abschließbare Frontplatten-Steuerungsschnittstelle; Jedes Gerät wird mit einem rückführbaren Kalibrierungszertifikat geliefert; Unterstützt Coulombic und Johnsen-Rahbek ESC Technologien; In diesem Abschnitt wird beschrieben, wie die Konfigurationsdatei eines elektrostatischen Spannfutters über eine benutzerfreundliche Software-Schnittstelle auf das Gerät hochgeladen und im Gerät gespeichert wird; Die Wafer-Erkennung umfasst den Zustand "Wafer frei", "Wafer vorhanden" oder "Wafer eingespannt"; Anwendung: Elektrostatisch angetriebene Materialhandhabung Halbleiter-Wafer-Verarbeitung Nichtmechanischer Transfer von flachen Platten oder anderen bearbeiteten Materialien, die empfindlich auf mechanische Handhabung reagieren