Tischnetzteil HSEM

DC/DCHochspannungmodular

Die Hochspannungsnetzgeräte der HSEM-Serie von Wisman sind umfassende Hochspannungsnetzgeräte mit mehreren Ausgängen für die Fokussierung von Ionenstrahlen. Typische Anwendungen sind Transmissions- und Rasterelektronenmikroskope, Halbleiteranalyse, Fräsen und Reparatur von optischen Antriebsköpfen, Ionen, Strahlätzen und fokussierte Ionenstrahllithographie. Die modulare Bauweise ermöglicht die einfache Konfiguration und Montage einzelner Komponenten auf einem großen Chassis in einem gemeinsamen Rack. Schnittstellen-, Logik- und Steuerschaltungen sind in Oberflächenmontagetechnik ausgeführt, um Kosten und Größe zu minimieren. Integrierte Beschleunigungsstromversorgung, Filamentstromversorgung, absorbierende polare Leistung, inhibierende polare Leistung und Linsenleistung. Ultra-niedrige Ausgangswelligkeit, hervorragende Anpassungsrate, Stabilität, Temperaturdrift und Genauigkeit. Patentierte Hochspannungsaufhängung und digitale Steuerungstechnologie. Die Hochpräzisionsmodule der HSEM-Serie sind preislich konkurrenzfähig und eignen sich ideal für OEM-Anwendungen. TYPISCHE ANWENDUNG Transmissionselektronenmikroskopie Rasterelektronenmikroskopie Analyse von Halbleitern Fräsen und Reparatur Ionenstrahl-Ätzen Fokussierte Ionenstrahllithographie Restwelligkeit 2ppm SPEZIFIKATION Stromversorgung für den Beschleuniger Leitungsregelung: Eingangsänderung + / -10% für 100mV Lastregelung: ± 0,01%, maximale Spannung, volle Laständerung Stabilität: 1,5V/10 Stunden nach einer Aufwärmzeit von 2 Stunden Temperaturkoeffizient: 25 PPM/°C Filament-Stromversorgung Ausgangsspannung: 0 bis 5 VDC Restwelligkeit: 10mA P-P,