MOCVD-Auftragsmaschine TurboDisc EPIK 868

SputterDünnschichtrotierenden Kathoden

Führende Leistung mit maximaler Kapitaleffizienz und Platzersparnis EPIK® 868 von Veeco ist die leistungsstärkste MOCVD-Anlage der LED-Branche, die eine überragende Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit bei geringer Defektrate ermöglicht. EPIK 868 ist in vier Reaktorkonfigurationen erhältlich und verfügt über bahnbrechende Technologien, darunter die patentrechtlich geschützten IsoFlange™- und TruHeat™-Technologien, die für einen laminaren Fluss und ein gleichmäßiges Temperaturprofil über den gesamten Waferträger sorgen. Diese technologischen Innovationen ermöglichen höhere Erträge, die für Mini- und Mikro-LEDs erforderlich sind. Der EPIK 868 ist mit der TurboDisc®-Technologie ausgestattet, die höchste Systemverfügbarkeit und Betriebszeit ermöglicht. Der für die Massenproduktion konzipierte EPIK 868-Hochleistungsträger kann mehrere 4"- oder 6"-Wafergrößen aufnehmen und sorgt so für niedrigste Betriebskosten. Kunden können problemlos Prozesse von bestehenden TurboDisc-Systemen auf die neue EPIK 868 MOCVD-Plattform übertragen, um schnell mit der Produktion von hochwertigen Mini- und Mikro-LEDs zu beginnen. Hervorragende Homogenität mit geringer Defektivität Kompakte Cluster-Architektur Architektur mit hohem Durchsatz für maximale Produktion