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Pneumatisches Ventil 075 series
Isolationfür die HalbleiterindustrieAluminium

Pneumatisches Ventil - 075 series - VAT Vakuumventile AG - Isolation / für die Halbleiterindustrie / Aluminium
Pneumatisches Ventil - 075 series - VAT Vakuumventile AG - Isolation / für die Halbleiterindustrie / Aluminium
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Eigenschaften

Betätigung
pneumatisch
Funktion
Isolation
Anwendung
für die Halbleiterindustrie
Material
Aluminium
Weitere Funktionen
Transfer
DN

46 mm, 50 mm, 236 mm, 336 mm
(1,811 in, 1,969 in, 9,291 in, 13,228 in)

Druck

Min: 4 bar
(58 psi)

Max: 7 bar
(101,5 psi)

Beschreibung

Transfertüre für Loadlockkammern. Für Anwendungen unter Atmosphärendruck. Antrieb Impulssteuerventil 24 V DC Lagemelder mit elektromagnetischen Sensoren und LED-Anzeige Abdeckung für die Kolben und Antriebszylinder

Kataloge

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.