Segmentschütz 032 series
pneumatischverriegelbarEdelstahl

Segmentschütz
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Eigenschaften

Typ
Segmentschütz
Betätigung
pneumatisch
Korpus
verriegelbar, Edelstahl, Aluminium
Anwendung
für die Halbleiterindustrie
Weitere Funktionen
Transfer
Weitere Eigenschaften
doppeltwirkend
DN

Max: 500 mm
(19,685 in)

Min: 32 mm
(1,26 in)

Druck

Max: 7 bar
(101,5 psi)

Min: 3 bar
(43,5 psi)

Temperatur

Max: 40 °C
(104 °F)

Min: 0 °C
(32 °F)

Beschreibung

Transerfer-Insertventil für Loadlock / Prozesskammer-Isolation

Kataloge

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.