Segmentschütz 032 series
pneumatischverriegelbarfür die Halbleiterindustrie

Segmentschütz - 032 series - VAT Vakuumventile AG - pneumatisch / verriegelbar / für die Halbleiterindustrie
Segmentschütz - 032 series - VAT Vakuumventile AG - pneumatisch / verriegelbar / für die Halbleiterindustrie
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Eigenschaften

Typ
Segmentschütz
Betätigung
pneumatisch
Körper$
verriegelbar
Anwendung
für die Halbleiterindustrie
Material
Aluminium, Edelstahl
Weitere Funktionen
Transfer
Weitere Eigenschaften
doppeltwirkend
DN

Min: 32 mm
(1,26 in)

Max: 500 mm
(19,685 in)

Druck

Min: 3 bar
(43,5 psi)

Max: 7 bar
(101,5 psi)

Temperatur

Min: 0 °C
(32 °F)

Max: 40 °C
(104 °F)

Beschreibung

Transerfer-Insertventil für Loadlock / Prozesskammer-Isolation

Kataloge

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.