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Segmentschütz 031 seriespneumatischverriegelbarfür die Halbleiterindustrie
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Eigenschaften
- Typ
- Segmentschütz
- Betätigung
- pneumatisch
- Körper$
- verriegelbar
- Anwendung
- für die Halbleiterindustrie
- Material
- Aluminium
- Weitere Funktionen
- Transfer
- Weitere Eigenschaften
- doppeltwirkend
- DN
Max: 420 mm
(16,535 in)Min: 32 mm
(1,26 in)- Druck
Max: 7 bar
(101,5 psi)Min: 3 bar
(43,5 psi)- Temperatur
Max: 40 °C
(104 °F)Min: 0 °C
(32 °F)
Beschreibung
Für Schleuse und Prozesskammerisolierung in den HalbleiterProduktionssystemen für 200 und 300 Millimeter-Oblaten. - Mechanisch verriegelt in geschlossener Position - niedriger Schock - Differenzdruckvorsprünge SPÄHEN stattdessen Standard-SUS (Wahl)
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