Linearführungseinheit mit Kugelumlaufwagen SR-MS series

15 mm20 mmschmierungsfrei

Übersicht
Die ölfreie LM-Führung SR-MS ist für spezielle Umgebungen ausgelegt. Sie arbeitet von Atmosphärendruck bis Hochvakuum (geeignet bis ≈10⁻6 Pa), verträgt Backvorgänge bis 200°C und ist in den Größen 15 und 20 mit Edelstahlausführung erhältlich.

Stichworte

• Ölfrei
• Trockenschmierung S-Compound Film
• Vakuumtauglich (≈10⁻6 Pa)
• Backen bis 200°C
• Edelstahlkonstruktion

Aufbau und Merkmale

• Edelstahlkonstruktion: Bauteile bestehen aus Edelstahl und Materialien für spezielle Umgebungen.
• Entfettet und gereinigt: Lieferung entfettet mit speziellem Lösungsmittel zur Reduzierung von Kontamination.
• Fettfreie Schmierung: Verwendet eine zuverlässige Trockenschmierung (S-Compound Film) auf Edelstahlkugeln für fettfreien Betrieb.

Hauptvorteile
Geeignet für Anwendungen mit sehr geringer Ausgasung und minimaler gasförmiger chemischer Kontamination. Dauerbetrieb bis 150°C möglich, kurzfristig bis 200°C. Betriebsfähig in Vakuumumgebungen bis ≈10⁻6 Pa.

Was ist der Trockenschmierfilm S-Compound?
Der S-Compound Film ist ein vollständig trockener Schmierstoff, entwickelt für den Einsatz von Atmosphärendruck bis Hochvakuum. Er bietet hohe Tragfähigkeit, gute Verschleißfestigkeit und Dichtigkeit im Vergleich zu vielen Alternativen.

Vergleich: Schmiermaterialien

• Molybdändisulfid (hexagonal): Reibbeiwert (kein Vakuum) 0,05–0,25; Verschleißfestigkeit ausreichend; Vakuumreibwert 0,02–0,1; vakuumtauglich.
• Silber (weiches Metall): nicht anwendbar in Tests ohne Vakuum; Vakuumreibwert 0,1–0,3; vakuumtauglich.
• DLC (diamantähnlicher Kohlenstoff): Reibbeiwert (kein Vakuum) 0,06–0,15 mit überlegener Verschleißfestigkeit; Vakuumreibwert 0,3–0,5; überwiegend ohne Vakuum einsetzbar.
• Trockenschmierfilm S-Compound: Reibbeiwert (kein Vakuum) 0,02–0,05; gute Verschleißfestigkeit; Vakuumreibwert 0,01–0,03; einsetzbar in Umgebungen mit oder ohne Vakuum.

Ausgasung im Vakuum
Im Hochvakuum wurde aus dem S-Compound Film keine messbare Ausgasung festgestellt.

Haltbarkeit
Die ölfreie LM-Führung zeigt eine stabile Ermüdungslebensdauer. Die Lebensdauer des S-Films richtet sich nach dem Verschleiß und variiert mit Umgebung und Betriebsbedingungen; Bewertung unter realen Bedingungen empfohlen.

Typische Anwendungen

• Halbleiter- / FPD-Fertigung: Belichtungsanlagen, organische EL-Fertigung, Ionenimplantationsanlagen, Lithographiesysteme — geringe organische Ausgasung; hohe Temperaturbeständigkeit (bis 150°C).
• Analysatoren und Inspektionsgeräte: Massenspektrometer, Röntgeninspektionssysteme — einsetzbar im Hochvakuum; stabiles Rollverhalten auch bei niedrigen Geschwindigkeiten.
• Luft- und Raumfahrt: Satellitenkomponenten, Roboterarme — geringe Flüchtigkeit und Verlust im Weltraum; stabiles Rollverhalten bei niedrigen Temperaturen.

Maßeübersicht
Verfügbare Größen: 15, 20. Standard-Schienenlängen LM (L0): SR15MS — 160, 220, 280, 340, 400 mm; SR20MS — 220, 280, 340, 400 mm. Standardteilung F: 60 mm. G, g Abmessungen: 20 mm für beide Größen. Maximale Standard-Schienenlänge: 400 mm.

Hinweise

• Modell SR-MS enthält keine Kontaminationsschutz-Zubehörteile.
• Die angegebenen zulässigen Belastungswerte beziehen sich auf radiale Richtungsgrenzen und stehen im Zusammenhang mit der Festigkeit des trockenen Schmierfilms. Die Lebensdauer des S-Films hängt von Umgebung und Betriebsbedingungen ab; unter realen Bedingungen prüfen.

Eigenschaften / Technische Daten

• Modell / Serie: SR-MS
• Verfügbare Größen: 15, 20
• Material: Edelstahlkomponenten für Spezialumgebungen
• Schmierung: Trockenschmierung S-Compound Film (vollständig trocken; für Atmosphäre bis Hochvakuum)
• Vakuumtauglichkeit: operabel von Atmosphärendruck bis Hochvakuum (≈10⁻6 Pa)
• Betriebstemperatur: dauerhaft bis 150°C; kurzfristig bis 200°C; Backen bis 200°C
• Ausgasung: keine Ausgasung des S-Compound Films im Hochvakuum festgestellt
• Fett: nicht verwendet (ölfrei)
• Haltbarkeit: stabile Ermüdungslebensdauer; Lebensdauer des S-Films verschleißabhängig und umgebungsabhängig
• Typische Anwendungen: Halbleiter/FPD-Fertigung, Analysatoren/Inspektion, Raumfahrt
• Standard-Schienenlängen LM: SR15MS L0 = 160 / 220 / 280 / 340 / 400 mm; SR20MS L0 = 220 / 280 / 340 / 400 mm
• Standardteilung: 60 mm
• G, g Abmessungen: 20 mm