Gitter

Übersicht
Quadratische Mikro-Durchgangsöffnungen ohne abgerundete Ecken (R=0), die eng gepitchte und kleine Durchmesser ermöglichen, die zuvor nicht praktikabel waren.

Eigenschaften

• Hochdichte Mikro-Durchgangsöffnungen
  • Beispiel: bis zu 150.000 Öffnungen von 0,1×0,1 mm auf einer 3‑Zoll‑Wafer
• Durchgangsöffnungen mit hohem Aspektverhältnis (bis zu 1:10)
  • Typischer Bereich 1:8–1:10; gerade oder konische Querschnitte möglich
• Minimierte Ausbrüche
  • Verbessert den Kontakt bei der anodischen Verbindung mit Si

Optionen

• Seitliche Metallisierung
  • Reduziert optische Interferenzen oder Absorption zwischen den Öffnungen
• Auswahl der Kavitätengeometrie möglich

Standardangaben
Material: Borofloat 33 (BF33) etc.
Glasgröße: ≦φ150 mm
Mindeststärke: 0,25 mm
Stärken-Toleranz: ±0,01 mm
Mindestlochgröße: □0,07 mm
Lochgrößentoleranz: ±0,02 mm
Max. Aspektverhältnis: 1 : 10
Partikelkontrolle: Verfügbar
Querschnittsform: Gerade / Konisch

Eigenschaften / technische Daten

• Material: Borofloat 33 (BF33) etc.
• Glasgröße: ≦φ150 mm
• Mindeststärke: 0,25 mm; Toleranz ±0,01 mm
• Mindestlochgröße: quadratisch 0,07 mm; Toleranz ±0,02 mm
• Max. Aspektverhältnis: bis zu 1 : 10 (typ. 1:8–1:10)
• Querschnitt: gerade oder konische Durchgangsöffnungen
• Hochdichte Mikrolöcher: z. B. 150.000 Löcher von 0,1×0,1 mm auf einem 3‑Zoll‑Wafer
• Seitliche Metallisierung verfügbar zur Steuerung optischer Interferenz/Absorption
• Partikelkontrolle und Reinraumhandhabung verfügbar
• Minimierte Ausbrüche zur Verbesserung der anodischen Verbindung