Positionierungs-Hexapod PUNADCfür Röntgenstrahlenfür Wafer-Inspektion und Metrologie
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Eigenschaften
- Typ
- Positionierung
- Motortyp
- DC
- Verwendung
- zur geometrischen Ausrichtung, für die Luftfahrt, für Tests, für Lichtleiter, für Robotik, für Röntgenstrahlen, für Laboranwendung, für medizinische Anwendung, Optikanwendungen, für die Halbleiterindustrie, für Wafer-Handling, für Wafer-Inspektion und Metrologie, für optische Strahlung
- Weitere Eigenschaften
- kompakt, maßgefertigt, Präzision, Hochpräzision, hochauflösend, für Spiegel, mit Steuergerät, mit paralleler Kinematik
- Nutzlast
Max: 25 kg
(55,1 lb)Min: 0 kg
(0 lb)- Linearverschiebung
Max: 30 mm
(1 in)Min: -30 mm
(-1 in)- Linearschwing Y
Max: 30 mm
(1,18 in)Min: -30 mm
(-1,18 in)- Linearschwing Z
Max: 20 mm
(0,79 in)Min: -20 mm
(-0,79 in)- Winkelverschiebung
Max: 11 °
Min: -11 °
- Winkelweg Y
Max: 11 °
Min: -11 °
- Winkelweg Z
Max: 20 °
Min: -20 °
- Höhe
200 mm
(7,9 in)- Auflösung
0,5 µm
- Wiederholbarkeit
0,75 µm
- Geschwindigkeit
3 mm/s
Beschreibung
HEXAPODE PUNA
PUNA ist ein einfacher Hexapod, der für Präzisionspositionierungsanwendungen in Forschung und Industrie bei optimiertem Budget entwickelt wurde.
Tatsächlich ermöglicht der PUNA-Hexapod die Erfüllung begrenzter Budgets und bietet gleichzeitig eine Auflösung von 0,5 µm bei der Translation und 5 µrad (0,0003°) bei der Rotation.
Um das Design zu vereinfachen, ist der Motor in Reihe montiert und enthält einen inkrementalen Drehgeber.
ANWENDUNGEN
► Luft- und Raumfahrt
► Instrumentierung
► Prüflaboratorien
► Metrologie
► Optik
► Halbleiter
► Synchrotron
VIDEO
Kataloge
Puna hexapod
2 Seiten
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.