Positioniersystem für Wafer-Inspektion und Metrologie 782430:002.26

XYZlinearfür Reinraum

Dieses Inspektionssystem besteht aus vier Reinraumachsen und ermöglicht die automatisierte Vermessung mehrer Objekte gleichzeitig. Hohe Dynamik und höchste Reproduzierbarkeit werden erreicht. Eine hochauflösende Kamera bzw. Sensor wird relativ zur Probe verfahren um Geometrien zu prüfen, Messungen auszuführen und spezielle Qualitätsmerkmale zu dokumentieren. Automatisierte und wartungsarme 24/7 Inspektion • Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern, Probecards und Leiterplatten • Inspektion mehrerer Objekte gleichzeitig durch Verfahrwege bis 720 mm • Ideal für die Integration von zwei Prozessen gleichzeitig • Wartungsarmer 24/7 Betrieb und flexibles Wartungskonzept durch den schnellen Systemaustausch auf der Granitstruktur Optional erweiterbar: • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • Anschlüsse für Absaugung und umlaufende Bandabdeckungen • Verfügbar auch als Einzelportal • Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware