Massendurchflussregler MFC5000

für GasDeviceNetPROFINET

Die Gasmassendurchflussregler der Serie MFC5000 werden gemäß den SEMI-Standards für die jeweiligen Anwendungen hergestellt. Das Produkt bietet eine breite Palette an Bus-Kommunikationsoptionen, darunter DeviceNet, ProfiNet, EtherCat und IO-Link. Diese Schnittstellen können auf Anfrage auch weiter angepasst werden. Der MFC5000 ist für die Prozesssteuerung ausgelegt und verfügt über einen Dynamikbereich von 100:1. Er regelt den Druck im Bereich von 0,1 bis 1 MPa (15 bis 150 PSI) und deckt einen temperaturkompensierten Bereich von 0 bis 50 °C ab. Das Gerät kann auch unter Vakuumbedingungen betrieben werden.