ÜberblickDie Massenstromregler (MFC) von Siargo sind für die allgemeine Regelung nicht korrosiver Gase ausgelegt und sind in mehreren Serien mit unterschiedlichen Durchflussbereichen und Bauformen erhältlich. Die Produktfamilie bietet verschiedene Kommunikationsschnittstellen sowie konfigurierbare mechanische und elektrische Optionen für industrielle Anwendungen.
MFC2000Die MFC2000‑Serie deckt nicht korrosive Gasströme von 50 mLn/min bis 200 Ln/min ab. Analog- und RS485‑Modbus‑Schnittstellen sind verfügbar; optional sind DeviceNet, ProfiNet, EtherNet, EtherCat und IO‑Link erhältlich. Schnittstellen sind anpassbar.
MFC2100Die MFC2100‑Serie ist für nicht korrosive Gasregelung bis zu 50 mLn/min ausgelegt und bietet eine verbesserte Schutzart (IP65). Die Elektronik entspricht der MFC2000‑Serie. Elektrische und mechanische Schnittstellen sind anpassbar.
MFC2600Die MFC2600‑Serie unterstützt bis zu 50 mLn/min und verwendet eine standardisierte Verteiler‑(Manifold)‑mechanik, um Mehrgeräte‑Installationen zu erleichtern. Die elektrische Schnittstelle ist vollständig anpassbar.
MFC4000Die MFC4000‑Serie deckt 50 mLn/min bis 1000 mLn/min ab und ist für Messgeräte oder tragbare Geräte mit sehr kleinem Formfaktor konzipiert. Analog‑ und RS485‑Modbus‑Schnittstellen sind verfügbar; weitere Kommunikationsoptionen sind möglich.
MFC5000Die MFC5000‑Serie entspricht SEMI‑Standards für relevante Anwendungen und unterstützt mehrere Bus‑Kommunikationen wie DeviceNet, ProfiNet, EtherCat und IO‑Link. Sie ist für Prozessregelungen mit einem Dynamikbereich von 100:1 ausgelegt, steuert Druckbereiche um 0,1–1 MPa (15–150 PSI), kompensierte Temperaturen typischerweise 0–50 °C und kann im Vakuum betrieben werden.
MFC5100MDie MFC5100M‑Serie unterstützt bis zu 100 Ln/min, verfügt über einen Touchscreen für Basisfunktionen und bietet RS485 Modbus sowie weitere Kommunikationsoptionen.
MFC1600Die MFC1600‑Serie ist eine kostengünstige Lösung für 50 mL/min bis 20 L/min, verwendet ein Gehäuse aus Aluminiumlegierung und arbeitet typischerweise bei 0,1–0,8 MPa (15–120 PSI) mit kompensierten Temperaturen 0–50 °C. Typische Anwendungen: Dünnschichtabscheidung und medizintechnische Geräte.
MFC1700Der MFC1700 basiert auf der MFC1600‑Plattform für allgemeine nicht korrosive Gasregelung von 50 mLn/min bis 20 Ln/min, bietet Drehschalter zur Offline‑Programmierung von Adressen und Kommunikationsparametern sowie einen Hard‑Offset‑Reset‑Schalter zur vereinfachten Bedienung.
MFC1100Die MFC1100‑Serie ist für hohe Gasdurchsätze mit Bereichsgrößen von 20–50 Ln/min ausgelegt, unterstützt analoge Steuerung (0–5 Vdc oder 4–20 mA) und RS485 Modbus zur proportionalen Ventilsteuerung, bietet einen Dynamikbereich von 100:1 und arbeitet typischerweise bei 0,1–0,8 MPa (15–117 PSI) mit kompensierten Temperaturen 0–55 °C. Typische Anwendungen: digitale Anästhesiezufuhr und Schweißgase.
Technische Daten- Produktfamilie: MFC Massenstromregler einschließlich MFC1100, MFC1600, MFC1700, MFC2000, MFC2100, MFC2600, MFC4000, MFC5000, MFC5100M.
- Volllast‑Durchflussbereiche: ab 50 mLn/min bis zu serienabhängigen Maxima (Beispiele: MFC2000: 50 mLn/min–200 Ln/min; MFC4000: 50 mLn/min–1000 mLn/min; MFC5100M bis 100 Ln/min; MFC1600: 50 mL/min–20 L/min; MFC1100: 20–50 L/min).
- Schnittstellen: Analog, RS485 Modbus; optional DeviceNet, ProfiNet, EtherNet, EtherCat, IO‑Link. Schnittstellen anpassbar.
- Schutzart: MFC2100 bietet erhöhte Schutzart (IP65).
- Bauformen: kompakt/portabel (MFC4000), Manifold‑Anschluss für Multi‑Controller‑Installation (MFC2600), kostengünstiges Aluminiumgehäuse (MFC1600).
- Benutzerschnittstelle: Touchscreen am MFC5100M für Basisfunktionen.
- Normen: MFC5000 konform zu SEMI‑Standards, wo anwendbar.
- Dynamikbereich: bis zu 100:1 (MFC5000, MFC1100).
- Druckbereiche: Beispiele 0,1–0,8 MPa (15–120 PSI); MFC5000 steuert etwa 0,1–1 MPa (15–150 PSI).
- Betriebstemperatur: kompensierte Bereiche typischerweise 0–50 °C oder 0–55 °C je nach Serie.
- Vakuumbetrieb: MFC5000 kann im Vakuum betrieben werden.