Massendurchflussregler MFC series

für Gaskostengünstigkompakt

Übersicht
Die MFC-Baureihe umfasst Gas-Massendurchflussregler für nicht-korrosive Gase und deckt verschiedene Durchflussbereiche sowie industrielle Anwendungen ab. Standardmäßig verfügbar sind analoge Schnittstellen und RS485 Modbus; je nach Baureihe sind zusätzliche Feldbus-Optionen (DeviceNet, ProfiNet, EtherNet, EtherCat, IO-Link) erhältlich.

MFC2000

• Allzweck-Massendurchflussregler
• Vollskalenbereich: 50 mLn/min bis 200 Ln/min
• Schnittstellen: analog und RS485 Modbus; optionale Industrie-Busse

MFC4000

• Für die Regelung nicht-korrosiver Gase
• Vollskalenbereich: 50 mLn/min bis 1000 mLn/min
• Kompaktes/tiny Gehäuse für Mess- und tragbare Geräte
• Schnittstellen: analog und RS485 Modbus; optionale Busse

MFC5100M

• Vollskala bis 100 Ln/min
• Integriertes Touchscreen für Basisfunktionen
• RS485 Modbus verfügbar; weitere Bussysteme als Optionen gelistet

MFC5000

• SEMI-konforme Serie für Prozesssteuerung
• Breite Unterstützung von Feldbussen: DeviceNet, ProfiNet, EtherCat, IO-Link etc.
• 100:1 Dynamikbereich; Druckregelung 0,1–1 MPa (15–150 PSI)
• Temperaturkompensation: 0–50°C; vakuumtauglich

MFC1100

• Hochvolumige Gasdurchflussregelung: Vollskala 20–50 Ln/min
• Steuer-Ausgänge: analog (0–5 Vdc oder 4–20 mA) und RS485 Modbus für Proportionalventilsteuerung
• 100:1 Dynamikbereich; Druck 0,1–0,8 MPa (15–117 PSI); Temperaturkompensation 0–55°C
• Typische Anwendungen: digitale Anästhesiezufuhr, Schweißgase

MFC1600

• Kostengünstiges Gehäuse aus Aluminiumlegierung
• Für sehr geringe Durchflüsse nicht-korrosiver Gase ausgelegt
• Schnittstellen: analog und RS485 Modbus
• Druckbereich: 0,1–0,8 MPa (15–120 PSI); Temperaturkompensation 0–50°C
• Typische Anwendungen: Dünnschichtabscheidung, Medizingeräte

Spezifikationen / technische Merkmale

• Produktfamilie: MFC (Mass Flow Controllers) für nicht-korrosive Gase
• Übliche Schnittstellen: Analog, RS485 Modbus; optional DeviceNet, ProfiNet, EtherNet, EtherCat, IO-Link
• Durchflussbereiche: von mLn/min-Niveaus bis 1000 mLn/min je nach Modell
• Dynamikbereich: bis zu 100:1 (modellabhängig)
• Druckbereiche: z. B. 0,1–0,8 MPa und 0,1–1 MPa (modellabhängig)
• Temperaturkompensationsbereiche: z. B. 0–50°C und 0–55°C (modellabhängig)
• Gehäuseformen: kompakte Optionen für Messgeräte; wirtschaftliche Aluminiumlegierungsgehäuse
• Typische Anwendungen: Prozesssteuerung, Mess-/tragbare Geräte, Dünnschichtabscheidung, Medizingeräte, digitale Gaszufuhr, Schweißgase