Massendurchflussregler

proportionalfür Gasmit LCD-Display

Übersicht
Diese Seite listet Siargo-Massendurchflussregler für nichtkorrosive Gasanwendungen in mehreren Serien und Bauformen. Das Portfolio deckt Instrumentierung, Prozesssteuerung und tragbare Geräte ab und bietet konfigurierbare Kommunikations- sowie mechanische/elektrische Optionen.

MFC2000

• Allzweck-Massendurchflussregler für nichtkorrosive Gase
• Vollbereichliche Durchflussbereiche: von 50 mLn/min bis zu 200 Ln/min, modellabhängig
• Schnittstellen: Analog und RS485 Modbus; weitere Kommunikationsoptionen auf Anfrage

MFC2100

• Allzweck-Massendurchflussregler für nichtkorrosive Gase
• Vollbereichliche Durchflussbereiche: bis zu 50 mLn/min
• Verbesserter Gehäuseschutz: Klasse 65
• Elektronik kompatibel mit MFC2000; elektrische und mechanische Schnittstellen anpassbar

MFC2600

• Allzweck-Massendurchflussregler für nichtkorrosive Gase
• Vollbereichliche Durchflussbereiche: bis zu 50 mLn/min
• Standard-Manifold-Mechanik zur Vereinfachung von Multi-Regler-Installationen
• Elektrische Schnittstelle vollständig anpassbar

MFC4000

• Massendurchflussregler für nichtkorrosive Gase, optimiert für kompakte Instrumente und tragbare Geräte
• Vollbereichliche Durchflussbereiche: 50 mLn/min bis 1000 mLn/min (modellabhängig)
• Schnittstellen: Analog und RS485 Modbus; weitere Optionen verfügbar

MFC5100M

• Massendurchflussregler mit Touchscreen für Basisfunktionen
• Vollbereichlicher Durchfluss: bis zu 100 Ln/min
• RS485 Modbus verfügbar; weitere Bussysteme auf Anfrage

MFC5000

• Prozessgerechter Massendurchflussregler, entwickelt zur Einhaltung relevanter SEMI-Standards
• Breite Auswahl an Busoptionen: DeviceNet, ProfiNet, EtherCat, IO-Link usw.
• Für Prozessregelung mit bis zu 100:1 Dynamik ausgelegt
• Regeldruckbereich: 0,1 bis 1 MPa (15 bis 150 PSI); kompensierter Temperaturbereich: 0 bis 50 °C; betriebsfähig unter Vakuumbedingungen

MFC1600

• Kostengünstiger Massendurchflussregler im Aluminiumgehäuse
• Vollbereichliche Durchflussbereiche: Niederdruck-/Niederdurchfluss-Serien (genaue Werte siehe Datenblatt)
• Schnittstellen: Analog und RS485 Modbus
• Betriebsdruckbereich: typ. 0,1 bis 0,8 MPa (15 bis 120 PSI); kompensierter Temperaturbereich: 0 bis 50 °C
• Typische Anwendungen: Dünnschichtabscheidung, Medizintechnik

MFC1700

• Auf der MFC1600-Plattform basierender Allzweck-Regler für nichtkorrosive Gase
• Vollbereichliche Durchflussbereiche: niedrige bis mittlere Durchflüsse (siehe Datenblatt)
• Offline-Programmierung über Drehschalter und mechanischer Offset-Reset-Schalter

MFC1100

• Entwickelt für Großvolumen-Gasdurchflussanwendungen
• Vollbereich: 20 bis 50 Ln/min
• Schnittstellen: Analog (0–5 Vdc oder 4–20 mA) und RS485 Modbus für proportionalventil-gesteuerte Regelung
• 100:1 Dynamik; typischer Betriebsdruck 0,1 bis 0,8 MPa (15 bis 117 PSI); kompensierter Temperaturbereich bis 55 °C
• Typische Anwendungen: digitale Zufuhr von Narkosegasen, Schweißgase

Dokumente und Ressourcen

• Datenblätter sind für mehrere Serien verfügbar — Datenblätter für detaillierte Spezifikationen und Bestellcodes konsultieren

Technische Daten

• Anwendung: Massendurchflussregelung für nichtkorrosive Gase
• Durchflussbereiche: von Milliliter/min (mLn/min) bis Liter/min (Ln/min) je nach Serie
• Kommunikationsschnittstellen: Analog, RS485 Modbus; zusätzliche Busoptionen: DeviceNet, ProfiNet, EtherNet, EtherCat, IO-Link
• Gehäuseschutz-Beispiel: Klasse 65 für MFC2100
• Mechanische Optionen: Manifold-Design für Multi-Regler-Installationen (MFC2600), kompakte Bauform für tragbare Instrumente (MFC4000)
• Konformität: SEMI-Standards für MFC5000 (Prozessanwendungen)
• Dynamikbereich: bis zu 100:1 für ausgewählte Serien (MFC5000, MFC1100)
• Referenzdruckbereiche: typische Beispiele 0,1–0,8 MPa und 0,1–1 MPa je nach Modell
• Kompatible Temperaturbereiche: typ. 0 bis 50 °C (einige Serien bis 55 °C)
• Benutzerschnittstellen: Touchscreen (MFC5100M), Drehschalter und Reset-Schalter (MFC1700)