·Pipeline-Design mit zwei Quellen für schnelles Umschalten.
·Präzise Steuerung der Dünnschichtabscheidung auf atomarer Ebene.
·Modularer Aufbau der Luftverteilungsplatte, einfache Wartung.
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.