Sputter-Beschichtungsmaschine PL711

hochleistungsfähigMehrschicht

711 HiPIMS 3D Anlage Die PL711 ist eine kompakte SPUTTER-Beschichtungsanlage auf Basis der HiPIMS-Technologie. Sie verfügt über zwei Planare HiPIMS-Kathoden und erlaubt die Abscheidung von ausgewählten Nitrid- und Kohlenstoffschichten mittels hochproduktiver Prozesse. Eine gute Plasmaausnutzung wird dank einem zusätzlichen Booster, dem PLATIT-3D-Modul, erzielt. Beschichtungen aus der PL711 liefern exzellent glatte Oberflächen bei gleichzeitig hoher Dichte, Härte und hervorragender Haftung. 2 x Planare SPUTTER-Kathoden mit HiPIMS-Technologie Das PA3D-Modul mit zentraler Anode fokussiert ein dichtes und homogenes dreidimensionales Plasma mit hoher Ionisation in das Karussell Eingesetzte Ätzverfahren: LGD® (Lateral Glow Discharge) Plasma-Ätzen mit Argon, Glimmentladung Metall-Ionenbeschuss (Ti, Cr) Beladung und Zykluszeiten: Max. Beschichtungsvolumen: 4 x ø 225 x H 800 [mm] Max. Beschichtungshöhe mit definierter Schichtdicke: 550 mm Max. Beladung: 250 kg 2 Chargen/Tag bei*: Schaftwerkzeuge (2 μm): ø 10 x 55 [mm], - CrN, 540 Stück, 11 h Stempel und Matrizen (3 µm): bis ø 225 x 140 [mm], - CrN, 16 Stück, - 10 h Bewegliche Formteile (3 µm): 25 x 150 x 10 [mm], - DLC2, 96 Stück, - 8 - 9 h * Durchschnittliche Zykluszeiten für einen typischen Beschichtungsmix in einer laufenden Produktion. Modulare Karussellsysteme: 1 oder 3 oder 6 Achsen Software: Einfache Bedienung und Wartung PLATIT SmartSoftware (PC- und PLC-System) Moderner menügeführter Touchscreen Prozessvisualisierung in Echtzeit mit Datenaufzeichnung und -verwaltung Manuelle und automatische Prozesskontrolle Ferndiagnose und -wartung Maschinendimensionen: Footprint: B 3450 x T 2250 x H 2350 [mm]